中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198535 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、化学蒸着（CVD）、物理蒸着（PVD）、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）など、さまざまなプロセスで使用するために設計された原子炉（または「反応室」）です。AMAT ENDURAは、真空チャンバー、電気フィードスルーのセット、および装置へのガスや他のリアクタントの送達を制御するためのマスフローコントローラで構成されています。このシステムは柔軟性を重視して設計されており、複数のリアクタント源と異なるサイズの基板（許容チャンバーサイズ内）を使用することができます。シングルウェーハAPPLIED MATERIALIES ENDURAは、9インチ基板に対して~ 1。5％の均一性を実現し、毎秒3カウント以下の粒子数を実現します。直径70mmの丸いチャンバー、石英窓を備え、500mbarまでの圧力調節が可能です。プロセスが確立されると、温度、圧力、リアクタント濃度などのパラメータをリアルタイムで設定および調整することができ、ウェーハ蒸着プロセスを高精度に制御できます。ENDURAはまた、真空および温度成分の広い範囲が付属しています。例えば、リアクタントをパージするためのイオナイザーと、ガスやガス混合物を供給するためのガス処理装置を内蔵しています。このツールは、可変速度の機械的荒削りポンプ、ターボ分子ポンプ、ターボ分子ポンプコントローラ、および2速の荒削りポンプコントローラも備えています。このアセットには、フィルム成膜の均一性を確保するためのさまざまなプロセス監視および制御システムも付属しています。これらのシステムには、基板温度を精密に制御するためのマスフローコントローラ、サンプルローディング用のホットコールドプレート、チャンバーへの温度均一性のためのスプリットプレート、基板温度を測定するための光学ピロメータ、インターロックスイッチ、プロセスコントローラが含まれます。安全機能の一部として、モデルには過圧センサーと緊急ボタンが装備されており、必要に応じて迅速にプロセスを停止します。このハイテク反応チャンバーは、ナノスケール材料、化学工学、量子技術などの高度なプロセスでプロフェッショナルが使用する汎用性の高いツールです。堅牢な設計、高度な機能性、正確な制御機能を備えたAMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、プロセス制御を次のレベルに引き上げるための貴重なツールです。