中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198534 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactorは半導体・MEMS製造に使用される高温プラズマプロセッサです。AMAT ENDURA Reactorは、先進的な電気機器の製造のための幅広い基板の効率的で費用対効果の高い処理を提供するために設計された、最先端の基板加熱および冷却システムだけでなく、成膜およびエッチングシステムを使用して、高品質と高生産性の両方を提供します。応用材料ENDURA原子炉の基板加工室は、絶縁基板と導電基板の両方の処理に対応できる多くのシステムを使用して温度制御されています。200°Cの低温から1000°Cの高温までの温度範囲で、焼戻し、焼きなまし、拡散駆動プロセスを可能にします。原子炉室はまた、最大10-6 torrの内部真空圧力定格で密閉されています。ENDURA Reactorは、幅広い動作温度と圧力レベルを実現するプラズマ発生器を備えています。プラズマジェネレータは、反応性高周波RF電源と組み合わせて、酸化、エッチング、沈着を駆動するラジカルおよびイオン種を生成します。分散リングアンテナは、大きな基板上の均一なプロセスのカバレッジを確保します。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターはまた、洗練された基板ローディングとアンロードのハードウェアを備えています。これは、内部カセットローディングを備えた自動ハンドラーシステムで構成されており、一度に最大3つの基板の処理を可能にします。AMAT ENDURA Reactorは、幅広い自動クラスタツールに対応しているため、自動ロードロックやロボットとのシームレスな統合が可能です。アプライドマテリアルズENDURAリアクターは、基板加工性能に加えて、リアルタイムで基板開発を評価するための独自のin-situ計測およびフィードバックシステムも備えています。これにより、リアルタイムのプロセス監視とフィードバックが可能になり、一貫性のある高品質な結果を生み出すために不可欠です。ENDURA Reactorは全体的に、先進的な半導体とMEMS製造のための最先端のシステムです。高度なサブシステムと機能により、高品質の結果が得られます。また、自動化されたクラスタツールとの幅広い互換性により、効率的で高いスループット処理が保証されます。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactorは、現代の半導体およびMEMS製造に最適なソリューションです。