中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198531 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、汎用性と費用対効果の高い機器において、優れた均一性と生産性を兼ね備えた単一のウェーハ化学蒸着（CVD）炉です。革新的な設計により、最大830mmのプロセスモジュールを搭載し、優れたスケーラビリティを実現し、誘電体と非誘電体材料の両方のフロントエンド蒸着を可能にします。AMAT ENDURAの先進技術は、単一のシステムで多目的で統合されたプロセス機能を提供します。大量生産に必要な部品だけでなく、ヒューマンエラーを低減し、プロセス制御を改善するために設計された多くの機能も備えています。このユニットは、ウェーハ基板を使用して、前駆体ガス接触時間の最大のシームレスな均一性と精度制御を提供するように設計されています。また、成膜時にウェーハ表面の温度プロファイルを最適化し、均一な成膜を実現するウェーハ冷却機を搭載しています。APPLIED MATERIALS ENDURAのプロセスモジュールは、プロセス制御をさらに強化し、あらゆるアプリケーションの特定のニーズを調整するのに役立つ幅広いプロセスパラメータを可能にします。また、原子炉のユニークな設計により、さまざまなソースや技術をサポートすることができ、エンジニアは需要の増加に応じて生産を適切にスケールする柔軟性を提供します。安全性と信頼性の観点から、ENDURAは包括的な封じ込め機能を提供し、プロセスの開始時に密閉され、完全なシールが達成されるまで閉鎖されたままの封じ込めドアを備えています。これらの封じ込め機能は厳格な安全基準を満たしており、操作中にユーザーに安心を提供します。さらに、原子炉はIP-65評価され、異物、ほこり、小雨、水しぶきに対するツールのコンポーネントの安全性と保護を確保します。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、小規模及び大規模生産施設に理想的なシングルウェーハCVD炉です。大規模でスケーラブルなプロセスモジュール、優れたプロセス制御、信頼性の高い安全機能を備えたこの資産は、ますます複雑化する半導体業界の要求を満たすことができます。