中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198529 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA （AMAT ENDURA） PVD装置は、電子、医療、ガラス部品の基板表面に金属または合金材料の薄膜を堆積するために設計された物理蒸着（PVD）装置です。このシステムは、大量生産やマルチユーザー運用など、幅広い市場ニーズに対応できるよう設計されています。アプライドマテリアルズENDURAリアクターは、最適化されたデュアルダイナミックウェブデザインに基づいており、より高いスループットとフィーチャーあたりの低コストで大きな堆積面積を提供します。また、堆積物の設置面積を削減するための省スペース機能も備えています。このユニットには、さまざまな用途を可能にする幅広い真空機械構成とチャンバー構成が付属しています。このツールは、基板の平坦性を保証する堅牢な静電クランピングアセットと、基板の正確な位置決めと形成された層の高い歩留まりを保証する動的自己整列ロボット（DAR）を備えています。さらに、このモデルは、高度なプロセス制御機能、可変性、モジュール性、およびさまざまなアプリケーションやプロセスシーケンスの拡張性を備えて設計されています。また、原子層成膜（ALD）、ホットイオン注入（HII）、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）などの先端技術もサポートしています。レーザー加工や光学材料加工用の磁石を追加するオプションもあります。ENDURAは、エッチングプロセス、フォトリソグラフィー、電気めっきなど、さまざまな材料や化学物質向けに設計されています。また、銅、ステンレス、チタンなど幅広い基板に対応できるように設計されています。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAシステムは、高性能で柔軟な計測と検査機能を提供します。これには、詳細なプロセスデータを同時に収集しながら正確な仕様を保証するためのin-situ計測が含まれます。たとえば、Data Parcelアプローチは、同時計測、データ収集、およびプロセス制御をサポートし、予測フィードバック制御もサポートします。さらに、手動セットアップを排除し、ダウンタイムを短縮する効率的なルートを提供する自動ウェーハ摂取機を備えています。さらに、このツールには、スループットと歩留まりを向上させる高度なオートメーション機能が多数搭載されています。結論として、AMAT ENDURAは、さまざまな市場ニーズに対応するために設計された優れたPVD資産です。それは堅牢で高度なプロセス制御と検査機能を備え、異なる材料、基板、およびプロセス用に設計されています。このモデルはまた、最大スループット、歩留まり、および費用対効果のための省スペースおよびオートメーション機能を提供します。