中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198524 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは生産レベルのエンジニアリングおよび製造ツールです。この原子炉は、半導体および関連部品を製造するためのシングルチャンバーソリューションとして使用されています。薄膜成膜、エッチング、埋め込み、急速熱処理、急速熱アニール、ウェットプロセスなど、さまざまなプロセス機能を提供します。AMAT ENDURAは、高度なプロセス制御、自動化、およびその様々な機能のための迅速なレシピの開発のための高度な設計機能を利用しています。リアクタのアーキテクチャは、さまざまなエンドユーザー向けに簡単に再構成できます。さらに、さまざまな機能モジュール（FM）を備えており、プロセス制御の最適化、クリーンチャンバーの維持、機器の寿命の延伸に役立ちます。応用材料ENDURAは、優れた温度均一性と正確な温度制御を可能にし、すべての処理サイクル中に一貫した性能を保証します。その柔軟な統合は、標準プラットフォームで提供される機能を超えてプロセスレシピを設計、拡張、変更する機能を提供します。原子炉にはDCパルスプラズマモジュールが装備されており、基板洗浄を容易にし、プロセスの均一性を向上させます。ENDURAは窒素、アルゴン、ヘリウム、水素など様々なプロセスガスを利用しており、複雑な薄膜構造を多種多様な基板で作製することができます。半導体のバッチ生産とインライン生産にも適しており、半導体産業の研究開発と製造の両方に最適なツールとなっています。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターには、デュアル静電チャックモジュールとオプションのバックサイドヒーターが装備されており、より高い温度処理と基板の均一性を向上させます。さらに、その強力な成膜技術とエッチング技術は、幅広いプロセス技術に対応しており、薄膜成膜、絶縁層形成、薄膜表面パッシベーションのための非常に汎用性の高いオプションとなっています。さらに、AMAT ENDURAリアクタは、すべてのプロセスチャンバーとI/O接続を囲まれたキャビネットに配置し、迅速かつ簡単に設置できるように設計されています。また、信頼性の高い寿命の操作だけでなく、低い総所有コストを提供しています。全体として、アプライドマテリアルズENDURAリアクターは、さまざまなエンドユーザーのアプリケーションに使用できる強力で汎用性が高く、費用対効果の高い製作ツールです。優れた性能、温度均一性、および精密な温度制御を保証する先端技術を備えているため、半導体、複雑な薄膜構造などを製造するための信頼できるパートナーです。