中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198523 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactorは、トランジスタ、ダイオード、その他の回路素子などの半導体デバイスの製造用に設計された画期的な装置です。この装置は、誘電層と金属インターコネクトの両方と、これらのデバイスの製造に必要な金属接点の合計in-situ、低温スパッタ堆積を提供します。これにより、AMAT ENDURAは半導体業界にとって不可欠なツールとなります。システム自体は、負荷ロックチャンバー、プロセスチャンバー、2つのスパッタ源で構成されています。統合されたロードロックチャンバーは、プロセスチャンバにウェーハを素早く安全に移動させるように設計されています。プロセスチャンバーは、堆積プロセス中の圧力、温度、酸素および他のガスを制御するために使用されます。また、半導体デバイスの製造に必要な金属相互接続と金属接点を堆積するための2つのスパッタ源も含まれています。応用材料ENDURAは、標準または酸素ベースのレシピのいずれかを使用してサブミクロン厚の誘電体と金属層を処理することができます。ユニットはまた、非常に迅速に様々な厚さの複数の層を作成することができます。また、化学蒸着（CVD）を介して堆積する能力と、高度な半導体デバイスを作成するために重要な急速な熱処理を採用する能力を持っています。ENDURAはまた特徴制御、層の厚さの均等性およびステップ適用範囲のために使用されるマグネトロンを含んでいます。このマグネトロンは、プロセスチャンバーの中央に直接配置することができ、均一性制御を強化します。統合されたオートローダとビジョンマシンは生産時間を短縮し、高度な温度制御とプラズマ電源はプロセスを優れた制御を提供します。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactorは、これまでにない層厚制御と均一性を持つ半導体デバイスを製造するための優れたツールです。その統合されたコンポーネントは、迅速かつ効率的な生産を可能にし、その高度な機能により、半導体業界を次のレベルに引き上げることができます。