中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198521 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA™リアクターは、半導体デバイスおよび関連材料の大面積の処理のために設計された先進的な機器プラットフォームです。AMAT ENDURAリアクターは、幅広い半導体材料に高性能で費用対効果の高い汎用性の高い加工ソリューションを提供します。リアクターは、最大12インチのサイズのウェーハ処理が可能です。その特徴は正確で、一貫した結果のための1050Cまでの均一なドーピングおよびフルレンジの温度調整を含んでいます。この原子炉の高度な設計により、複数のレイヤーとデバイスのシングルパス処理のために、さまざまなプロセス手順を組み合わせることができます。複数の空処理システムと充填システムが付属しており、2つのプロセス手順を同時に実行できます。応用材料ENDURAリアクターは、最大のプロセス制御と最適な効率のために設計されています。そのモジュラーシステムは、ウェーハ輸送、六フッ化硫黄の配送、ガス使用などの追加モジュールを通じて、さらに柔軟性を高めます。この原子炉はまた、デッドゾーンフィードバック機構を備えたトリプル精密エンドブロックを備えており、材料の積み込みと位置決めエラーを最小限に抑えます。この原子炉は、AMATの幅広い材料システムや物流システムと容易に統合できるように設計されています。これにより、すべての生産要件において最大のプロセス速度、再現性、均一性を実現します。利便性を高めるために、原子炉はAlignAly、 ProbeSET、 X-Plane、 Pyrotechnicsなどの複数のプロセスソフトウェアパッケージとも互換性があります。ENDURAリアクターは堅牢で信頼性が高く、生産環境において長期的なサービス、安定した運転、安定したパフォーマンスを提供します。自動化オプションと直感的なユーザーインターフェイスの広い範囲で、インストールとメンテナンスが簡単に行えるように設計されています。アプライドマテリアルズは、設置、エンジニアリング、プロセス開発サービスを含む包括的なサポートとトレーニングを提供します。要約すると、AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA原子炉は、さまざまな半導体材料やデバイスの効率的な大面積処理のための信頼性の高い先進的な機器プラットフォームです。最適なプロセス制御と最適な効率を提供し、あらゆる加工作業に最適です。
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