中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198517 を販売中

AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、半導体製造およびその他の関連プロセス向けに設計された先進的なエッチングリアクターです。AMAT ENDURAリアクターは、ウェーハの重要な異方性（一方向に歪んだ）エッチングを実行するように特別に設計されています。このプロセスは、半導体製品の製造に使用される集積回路などの部品を製造する上で重要です。アプライドマテリアルズENDURAリアクターは、さまざまなウエハサイズを処理することができます。これには、200mm （8インチ）および300mm （12インチ）のウエハが含まれます。原子炉には、オペレータがエッチング速度と条件を正確に調整できるさまざまな機能があります。これには、ガスの流れとガスの組成と温度を調整する機能、およびプロセス圧力、電力、バイアスを制御する機能が含まれます。この最先端の原子炉は、望ましいエッチング環境を維持するために、真空源、低温ポンプ、および高圧ガス供給を利用しています。このため、原子炉は最高レベルの統合のために設計されており、オペレータは同じ装置で複数のエッチングプロセスを実行することができます。これにより、複数のプロセス工程や様々なエッチング化学製品において、エッチング条件を簡単かつ効果的に最適化することができます。ENDURAリアクターには、オペレータがプロセスパラメータを正確に調整できる高度な制御システムも装備されています。これには、最適なチャンバーとガス条件を確保するためのフィードバックシステムと、プロセスのトレーサビリティと分析に使用できるデータロギングが含まれます。最後に、原子炉は、稼働時間とスループットを最大化するために、ロボットツールでの高速ロードとアンロードのために設計されています。APPLIED MATERIALS/AMD AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、半導体産業における幅広いエッチング用途向けに設計されています。これは、オペレータがエッチング操作を実行するための信頼性が高く、効率的で、プログラム可能な方法を提供します。これは、大量の複雑なエッチングプロセスでの使用に最適であり、統合されたオートメーション互換ツールの使用を可能にします。これにより、プロセスの回転が高速になり、最適化された設定により、最も効率的で低コストのエッチング操作が可能になります。