中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198516 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactorは、半導体デバイスの製造に使用される銅ベースの相互接続層とバリア層のために設計された先進的なプラズマ蒸着システムです。それは均一な層およびより大きいプロセス制御を保障するために新しいプラズマ源の技術を組み込む単一のウェーハの炉です。AMAT ENDURA Reactorは、高度なマグネトロンデュアルソースアーキテクチャを備えており、2つの異なるプラズマプラズマをほぼ等しいエネルギーで放出することができます。これにより、プラズマの均一性が高く、沈着速度を優れた制御が可能です。また、加工工程ごとに複数の層を堆積させることができ、エッチングなどの熱処理が不要です。高度なプログラミング機能により、精密で再現性のある堆積が望ましい結果を得ることができます。応用材料ENDURAリアクターは、銅、コバルト、タングステン、および様々な金属を含む様々な蒸着材料を利用して、相互接続および回路経路の層を提供します。高度なプラズマ均一性、高い沈着率、プロセス制御の強化により、ENDURAは高品質の相互接続を迅速に得ることができます。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、優れたプラズマ均一性と高い蒸着効率を提供する強力なプラズマベースの電子サイクロトロン共鳴イオン化源を備えています。これにより、銅および銅合金層の非常に均一な堆積が保証され、高度な銅間接続の製造が可能になります。AMAT ENDURAは、ガスの流れをリアルタイムで測定し、それに応じて調整するガス配送システムを備えており、より高度な制御が可能です。APPLIED MATERIALTS ENDURA Reactorには、高性能RFオゾン発生器、高度なプログラマビリティ、および高い精度と再現性を可能にするユーザーフレンドリーな制御など、他の多くの機能も含まれています。これは、タイムリーに最高品質の相互接続と回路経路を達成する能力をユーザーに提供します。さらに、ENDURAは様々な基板材料との互換性を確保し、銅系材料のプロセスの柔軟性を向上させます。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactorは、優れたプロセス制御、均一性、および銅ベースの相互接続およびバリア層の蒸着速度の向上を提供する先進的なプラズマ蒸着システムです。これは、高度なマグネトロンデュアルソースアーキテクチャ、強力なプラズマベースの電子サイクロトロン共鳴イオン化源、およびその他の多くの機能を通じて実現します。これにより、AMAT ENDURA Reactorは高品質の相互接続と回路経路を迅速かつ確実に実現するのに理想的です。