中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198515 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA
ID: 9198515
Chamber I/O board Part number:0100-00546.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA (AMAT)は、集積回路、ディスプレイ、LED照明など、半導体産業で薄膜の製造に使用される高性能な成膜炉です。AMAT ENDURAは、高度な成膜技術を活用し、コーティングおよび成膜プロセス中に優れたプロセス性能と基板カバレッジを提供します。さらに、アプライドマテリアルズのエンデュラは、複数のアニーリングオプションと低温蒸着プロセスでも知られています。ENDURAは、ガス、イオン、原子、分子など様々な材料を含んだ高温壁反応室を利用して、イオン、原子、電子を作り出しています。これらのイオン、原子、電子は、用途に応じて、さまざまな厚さの薄膜層を形成します。その後、ホットウォールに基板を配置して反応プロセスを開始します。ホットウォールは特定の温度に加熱され、反応剤は反応し、望ましい特性で薄膜層を形成することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAには、基板と反応チャンバーの間の電界を制御する静電チャックも装備されています。これにより、AMAT ENDURAは薄膜層の沈着率と均一性を管理することができます。APPLIED MATERIALS ENDURAには、薄膜層の形成プロセスを監視し、必要なポイントで沈着プロセスを停止する高度なエンドポイント検出装置が装備されています。これは、望ましい薄膜層が可能な限り最高の品質と均一性で到達することを保証するのに役立ちます。さらに、エンドポイント検出システムにより、層の均一性と厚さを制御することができます。ENDURAには、蒸着プロセス中の精度と再現性を確保するためのプロセスモニタリングユニットも含まれています。プロセス温度、圧力、およびフローは、統合されたモニタリングマシンを使用して監視および記録され、薄膜層の最適化のためのフィードバックを提供します。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、最高品質の薄膜層を確保するためのさまざまな機能を備えた先進的で信頼性の高い蒸着炉です。AMAT ENDURAは、高度な成膜技術とアニーリング技術を駆使し、さまざまなプロセス制御および監視システムを使用して、さまざまな薄膜アプリケーションに最高品質の材料を提供しています。
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