中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198514 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、先端半導体デバイスの製造に使用される最先端の薄膜蒸着装置です。AMAT ENDURAは高度なプラズマ強化化学蒸着（PECVD）システムで、高度なコンフォーミング、コンフォーマル、および応力制御された薄膜を堆積することができます。このユニットは、蒸着プロセスで最大の汎用性を提供するマルチチャンバー設計を備えています。アプライドマテリアルズENDURAマシンは、安全で信頼性の高いウェーハ輸送を保証する高速真空ロックウェーハ転送を備えたロボットウェーハ処理ツールを使用しています。本アセットのウェーハキャリアは、適切なウェーハセンタリング、個別ゾーン加熱制御、および均一性を向上させる自動校正手順のための絶縁サポートペデスタルから恩恵を受けます。このモデルはまた、より高い蒸着速度の柔軟性と低いプロセス変動性のために構成される統合された蒸着ソースを備えた改良された石英ベル設計を備えています。さらに、この装置は、スループットと生産性を向上させる単一のチャンバーで複数のウェーハを処理することができます。ENDURAでは、プロセス能力に関して、半導体デバイスの製造に使用される特殊な抵抗、ゲートなどの材料とともに、高品質の誘電体のPECVD成膜を可能にします。このシステムはまた、有機金属や他の材料のコンフォーマル層を堆積する能力を持っています。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAには、シコン精製プロセスを実行するために使用される高真空デジタル昇華チャンバー（DSC）があります。このユニットは、材料応力を高めたり、ライン幅の粗さ（LWR）を低減するために高温アニール（HT）プロセスを実行することができます。AMAT ENDURAマシンは、プラズマ閉じ込めツールを改良して安全性を向上させるように設計されています。最後に、この資産には、最適な安全性、性能、および信頼性を確保するために、あらゆるモデルの問題をオペレータに通知する複数のセンサーとアラームがあります。結論として、アプライドマテリアルズENDURAリアクターは、安全で信頼性の高い方法で堆積および精製プロセスを実行することができる汎用性の高い機器です。このシステムは汎用性が高く、半導体デバイスの製造に使用される薄膜などの材料の効率的な堆積を容易にします。また、センサーとアラームを備えており、最適な安全性、性能、信頼性を保証します。