中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198513 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、汎用性と効率的なプラズマ強化化学蒸着（PECVD）装置です。これは、幅広い半導体デバイス製造アプリケーションに優れたプロセス性能と信頼性を提供するように設計されています。AMAT ENDURAは、様々な金属や誘電体のエピタキシャル蒸着、酸化ゲート形成、接触層の蒸着を可能にします。高度な直接注入プラズマ源を備えており、超高速チャンバーの避難と均一なプラズマ密度分布、および高度に制御されたプロセス温度を可能にし、信頼性の高いデバイス性能を保証します。アプライドマテリアルズENDURAリアクターは、PECVDと電子サイクロトロン共鳴（ECR）技術の両方を利用して、優れたプロセス制御とスループットを提供します。PECVDプロセスは、ENDURAのシリコーンベースの前駆体配送システムを通じて、希望する厚さ、速度、起伏のある層の再現性のある均一な堆積を実現します。ECR技術は、従来のRFソースと比較してプロセス性能と信頼性を向上させ、運用コストを削減します。また、スループットを犠牲にすることなく、優れた均一性と改良された基板温度制御を提供します。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは非常に柔軟に設計されており、ユーザーはさまざまなアプリケーションに簡単にユニットを設定できます。交換可能なモジュールとコンポーネントを使用することで、原子炉は、追加のガスラインやコンポーネント、石英チャンバのバリエーション、およびソースアプリケーションなどの特定のプロセスのニーズに合わせてカスタマイズすることができます。また、包括的な制御パッケージを備えており、幅広いプロセス制御および最適化機能を提供します。AMAT ENDURAは、独自のプラズマベースのプリクリーニング技術を使用して、成膜前にきれいなウェーハ表面を確保しています。ウェーハ表面から有機・無機汚染物質を除去するプリクリーニング技術により、成膜・エッチング工程で優れた結果を得ることができます。プリクリーニングプロセスは、ウェットクリーニング技術に関連する可能性のあるウェーハ損傷の可能性も低減します。APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、PECVDおよびECRアプリケーション向けの優れた機械であり、プロセス性能の向上とコスト削減を実現します。その高性能機能、柔軟性、およびプロセス制御により、ユーザーは効率的かつ信頼性の高い方法で目的の結果を達成することができます。ENDURAは、幅広い機能と性能を備え、先進的な半導体デバイス製造アプリケーションに適しています。