中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198512 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、複雑な製造プロセス向けに設計された、高性能で大規模なシングルウェーハプラズマエッチング炉です。この装置は、スループット、複雑さ、均一性、および信頼性の点で優れたプロセス機能を提供し、高度な薄膜成膜、エッチング、スパッタリングアプリケーションを可能にします。AMAT ENDURAシステムは、最高レベルのプロセススループットと制御を提供しながら、最大の構成性と均一性を提供するように設計されています。高度なガス分配ユニット、自動プラズマ発生器、および精密プロセス制御を可能にするチャンバジオメトリを利用しています。アプライドマテリアルズENDURAマシンは、反応ガスの正確な制御を提供し、幅広いプロセスパラメータを設定できる構成可能なマルチゾーンシャワーヘッド/ガスディストリビュータアセンブリを備えています。シャワーヘッドアセンブリは、静的または動的な封じ込め設計を利用して、プラズマ反応ガスをチャンバー壁と基板表面に均等に向けることで、非常に均一なフィルム成膜、エッチング、スパッタリングを実現します。独自の構成により、非常に正確で再現性の高い結果と、プロセスの柔軟性が向上します。さらに、ENDURAツールは、イオンゲッタ/バッフルアセンブリを使用してプラズマ均質性と均一性を向上させ、より高速なスループットを実現するサイクルタイム最適化パッケージを提供します。アセットには、アプリケーションエンジニアがリアルタイムでプラズマプロセスパラメータを詳細に監視および調整できる自動プロセス制御プログラムも含まれています。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAモデルは、酸素、塩素、アルゴン、フッ素など様々なプロセスガスを使用し、PECVD、 RIE、スパッタリングなどの幅広いプラズマベースの処理アプリケーションを可能にします。高度な機能と堅牢な設計により、最先端のプロセス複雑さでも高品質の薄膜、エッチング、スパッタメタルフィルムを製造することができます。APPLIED MATERIALS ENDURAは、高性能で機能性に富んだシングルウェーハプラズマエッチング炉で、最先端の複雑なプロセスでも高品質の薄膜、エッチング、スパッタメタルフィルムを製造することができます。このシステムは、すべての薄膜蒸着、エッチング、スパッタ用途において、スループット、複雑性、均一性、および信頼性の点で優れたプロセス機能を提供します。