中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198509 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor （AMAT ENDURA Reactor）は、半導体産業のための汎用性と信頼性の高いツールです。マイクロエレクトロニクス、MEMSデバイス、および先進ICパッケージング用の先進デバイスの開発に使用されています。この原子炉は、プロセス制御と安全性を向上させる堅牢な設計で高温プロセスを可能にするように設計されています。アプライドマテリアルズENDURAリアクターは、メインチャンバー、セカンドチャンバー、サードチャンバーの3つの標準的な原子炉室を備えています。メインチャンバーは、より高い温度（最大853°C）に最適化され、熱処理に使用されます。2番目のチャンバーは通常反応性ガスに使用され、側面にオプションのフラットボトムエピタキシー源があります。第三のチャンバーは、化学蒸着（CVD）やスパッタフィルム蒸着などの蒸着プロセスのための低圧環境を提供します。原子炉は、標準窒素（N2）、アルゴン（Ar）、ヘリウム（He）、水素（H2）など、多くのガス混合物で働くことができます。また、カスタムの化学前駆体にも対応できるため、化学ガス沈着（CHD）などの高度なプロセスを可能にします。リアクターの真空レベルは、デジタルクローズドループ装置と高精度の圧力トランスデューサを使用して検証することができます。ENDURA Reactorにはウエハハンドリングシステムが搭載されているため、基板をユニットに正確に配置することができます。メカニカルマシンを使用した高精度なウェーハグリッパーが特徴で、基板の正確かつ均一な配置が可能です。また、拡張可能な入出力インタフェースを備えており、複数のリアクタとエンドエフェクターを制御できます。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactorには高度な制御ツールが装備されており、お客様はバッチプロセスの状態をリアルタイムで監視および変更することができます。反応温度、タイミング、およびその他のプロセスパラメータを正確に制御するための高度なPIDアルゴリズムが含まれています。この資産には、データ収集モデルと、プロセスの再現性の効率を最大化するためのレシピを保存する機能も含まれています。最後に、顧客がプロセスの状態を簡単に監視できる大型ディスプレイを備えています。AMAT ENDURA Reactorは、さまざまな処理アプリケーションに適した信頼性と汎用性の高いツールです。堅牢な設計と高度な制御システムにより、プロセス制御と安全性が向上し、一貫性のある高性能な結果が得られます。また、使いやすく、プロセスパラメータを最適化する柔軟性を顧客に提供します。