中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198507 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、最先端の半導体デバイスに超精密ウェーハ加工を提供するために開発されたフルフィールドウェーハ処理炉です。装置は優秀な性能を提供し、工場統合を可能にするように設計されています。AMAT ENDURAリアクターは、高度なプロセス制御システムを備えており、蒸着プロセスを正確に制御し、高品質のパフォーマンスを保証します。制御ユニットは、自動プロセス調整やパターニング制御などの高度な機能を備えています。これにより、機械からの出力が信頼性が高く、一貫していることが保証されます。アプライドマテリアルズENDURAは、ウェーハ加工用の幅広い動作温度範囲を備えており、過飽和な蒸気環境で高度な構造を形成することができます。蒸気環境は、アルゴン源を供給する蒸気発生器を介して生成されます。蒸気発生器は、ウェーハ表面上の構造の形成を正確に制御することができます。ENDURAはまた、優れた酸化率を提供する高度な電気化学酸化ツールを備えています。このアセットは、非常に効率的な電気化学的酸化プロセスを使用しており、1時間あたり約5ミクロンの速度で均一な薄膜蒸着を提供します。薄膜の蒸着速度は従来の方法よりもはるかに速く、ナノスケール構造を形成することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、半導体材料の幅広い加工に使用できる多種多様なプロセスチャンバーも提供しています。これにより、窒化ガリウムや炭化ケイ素などの材料から高度な構造を作ることができます。チャンバは、特定のウェーハおよび材料の処理環境をカスタマイズするように構成することができます。AMAT ENDURAリアクターは、クリーンで効率的な処理環境を確保するために、熱および非熱汚染を最小限に抑える不活性不活性ガス供給モデルを採用しています。不活性ガス装置は、蒸着プロセスの速度を向上させ、より速い処理時間とより良い品質の結果を達成することが可能になります。応用材料ENDURA原子炉は、信頼性が高く、メンテナンス性が低いように設計されています。システムのコンポーネントは非常に堅牢で、時間の経過とともに一貫したパフォーマンスを提供するように設計されています。このユニットには包括的なドキュメンテーションパッケージが付属しており、パフォーマンスを維持および最適化するために必要な保守および修理プロトコルを概説しています。ENDURAリアクターは、半導体およびナノテクノロジーのウェハ処理アプリケーションに最適です。高度なプロセス制御と自動化された機械により、高品質のウェーハ加工を素早く回すことができます。このツールはまた、ナノスケール構造の形成を優れた制御でクリーンで効率的な処理環境を保証します。