中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198504 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA™ Reactorは、半導体蒸着アプリケーションのためのツールであり、デバイスのパフォーマンスを向上させるために、業界をリードするプロセス制御、低コストの所有コスト、および高スループットを提供するように設計されています。この原子炉は、複数のガス噴射点を利用して温度と流量を正確に制御する高温低圧リング型機器です。AMAT ENDURA Reactorは、層の均一性、粒子抑制、およびラインエッジラフネス（LER）を集中させることにより、正確で再現性のある均一なプロセス制御を提供します。統合された制御システムは堅牢な制御層と不活性ガス供給の正確な調整を提供します。この機能により、膜厚の均一性、粒子抑制、ライン端の粗さが要求されるウエハ要件を満たすことができます。このユニットは、チューニングされたRFソースによってさらにサポートされており、ウェーハ表面全体に均一な応力分布を確保するのに役立ち、電気的性能を維持しながら、より良い接着および堆積均一性をもたらします。アプライドマテリアルズENDURAリアクターは、プリセットレシピとサイクルパラメータを備えた自動プロセス制御も提供します。これにより、パフォーマンスを最適化するために人間の入力を最小限に抑えて再現可能なプロセスが可能になります。統合されたステータスモニタマシンにより、すべてのプロセスパラメータを瞬時にレビューし、トラブルシューティングと制御を改善できます。このツールはさらに、フィードバック補正ループに重要なフィードバックを提供することにより、継続的な最適化と均一性制御を可能にする統合センサを提供します。ENDURA Reactorは、原子炉を収容するための安全エンクロージャ、調整可能な圧力スイッチと可聴アラームを備えた高速避難資産、不活性ガス封じ込め安全シールドなど、いくつかの高度な安全機能を備えています。さらに、このモデルは可変周波数RF互換性をサポートし、蒸着パラメータの完全な制御とリモートプロセス監視をサポートします。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactorは、デバイスのパフォーマンスを大幅に向上させるために、低コストの所有コスト、高スループット、およびプロセスパラメータの正確な制御を提供するように設計された、半導体蒸着アプリケーション向けの非常に効率的なツールです。直感的なユーザーインターフェイスにより、シームレスな操作が可能になり、安全性を最優先にしながら効率的な操作を保証するためのさまざまな安全機能がさらに組み込まれています。