中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198500 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA®リアクターは、幅広い基板上でさまざまな化学プロセスを実行するために設計された特殊な装置です。このタイプの原子炉は、半導体、太陽電池（PV）、薄膜蒸着産業で使用され、ウェハやその他のフラット基板上の膜の層を作成します。AMAT ENDURA®リアクターは、化学蒸着（CVD）と物理蒸着（PVD）の両方の処理が可能です。機械のガスキャビネットには最大15個のプロセスモジュールが装備されており、柔軟性を提供し、異なるガスや化学物質を同じプロセスチャンバーで使用できます。ガスの配送と配送は、バルブ、オリフィス、マスフローコントローラの洗練されたシーケンスによって管理され、プロセスに必要なガスの正確かつ均一な供給を保証します。基板はチャンバーに入れられ、沈殿プロセスが始まる前に所望の温度に加熱されます。プロセスに必要なすべてのガスが導入された後、RF電源、ガス化学、プロセス圧力の組み合わせを使用して適切な混合物が得られます。原子炉によって堆積されたフィルムの均一性は、堆積プロセス全体にわたって均一な圧力と温度を維持することに大きく依存します。この均一性を実現するために、原子炉には基板温度を監視するためのピロメーター付きの石英ビューポートが装備されています。原子炉はまた、均一で安定した基板温度を確保するために、アクティブとパッシブの加熱方法の組み合わせを使用しています。RF誘導や電子ビーム線形運動のような活発な加熱方法を使用して、基板を正確に加熱します。アプライドマテリアルズENDURA®リアクターは、あらゆるプロセス化学および最適なリアクター条件を幅広い用途に使用できる汎用性の高い機械です。これにより、必要不可欠な薄膜蒸着プロセスにお客様にとって有利な選択肢となります。この原子炉は、RF電源、ガス化学、プロセス圧力の組み合わせを利用して、信頼性の高い再現可能な処理、ならびに均一な蒸着、層のカバレッジ、および層の厚さを保証します。