中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198499 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、先進的な半導体加工のために設計された汎用性の高い、大容量、完全自動化された原子炉です。この多機能リアクターにより、1つのワークステーションで同時に蒸着、エッチング、洗浄作業を行うことができます。装置はAMATによって特許を取られたAeroflexのノズルの設計が装備されています、より有効で、厳密なフィルムの沈殿のための均一な粒子配分そして正確なプロセス制御を保障する。AMAT ENDURAでは、ウエハの膜厚や均一性を最適化するためのメカニズムだけでなく、超薄膜を提供することができます。このシステムのガス分布は、精巧なガス管理ユニットを使用して基板表面全体に均一に実行され、ガス流量測定は高精度に維持されます。さらに、アプライドマテリアルズのエンデュラには、最大8種類のリアクタパラメータを管理できる自動プロセス制御ハードウェアモニタリングマシンが搭載されています。これには、圧力、流量、温度のリアルタイムフィードバックストリームが含まれ、正確で正確なプロセス制御が可能です。このツールはまた、レシピベースのソフトウェアプラットフォームを採用しており、ユーザーが希望するプロセスレシピを事前にプログラムしたり、将来のユーザーのプロセスパラメータを保存したりすることができます。さらに、ENDURAはさまざまなリアクター構成で使用することができ、幅広いプロセスアプリケーションでの使用が可能です。アセットは、シーケンシャルまたはクラスター化された配置で使用することも、既存または新しい製造システムに統合することもできます。さらに、フットプリントを小さくしたAMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、大容量のプロセスチャンバーを誇ります。最後に、効率的な避難システム、複数のターボ分子ポンプ、および高性能ヒーターも搭載しています。この高度なエンジニアリングにより、AMAT ENDURAは高度な製造の限界を押し広げ、スループットの向上、プロセス精度の向上、歩留まりの向上などの機能を提供します。APPLIED MATERIALS ENDURAは、幅広い成膜およびエッチング用途に強力かつ柔軟なソリューションを提供し、高度な半導体加工に最適です。ENDURAは、包括的な設備機能と効率的なプロセス制御により、複雑なプロセス要件に対応する高度なソリューションを提供します。