中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198496 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクター（AMAT ENDURA）は、最先端のプラズマ強化化学蒸着（PECVD）装置です。半導体製造に使用され、高品質の誘電膜を作成するだけでなく、高度な材料を必要とする新しいメモリやロジックデバイスアプリケーション。アプライドマテリアルズENDURAリアクターは、さまざまな革新的な機能と機能を備えているため、多くの高度な成膜プロセスに理想的なツールです。これは、1つのシステムで堆積、エッチング、およびインプラントのアプリケーションをサポートするマルチプロセスプラットフォームを利用しています。これにより、さまざまなウエハ材料やプロセスを使用することができるため、さまざまなアプリケーションに適しています。この原子炉は、オンボードデジタルコントローラと洗練された容器ローディングユニットで設計されており、簡単で効率的なウェーハ処理が可能です。高度な自動化機能により、ウェーハの積み降ろしが容易になり、多層蒸着やエッチングのアプリケーションにも役立ちます。ENDURAはまた、高効率でカスタマイズ可能な電気機械式フィルム蒸着機を備えています。それは高い均等性、改善された制御および沈殿率および適度なパワー消費量のフィルムを作り出すことができます。また、蒸着工程やエッチング工程でウェーハを動かす機能など、プロセスの自動化を可能にするXYZ軸ステージも備えています。さらに、このツールはPrecise RF （Radio Frequency）モニタリングを提供しており、ユーザーはRF電力を正確に制御し、蒸着プロセス全体を監視することができます。これにより、プロセス能力が向上し、沈殿物層の厚さと組成の一貫性と均一性が向上します。また、AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、現場での温度制御も可能であり、製造中にプロセスの温度を正確に監視および調整することができます。全体として、AMAT ENDURA Reactorは半導体製造のための強力な堆積資産です。その高度な機能のスイートは、それは高度な材料を必要とする高品質の誘電フィルムやその他のメモリやロジックデバイスアプリケーションを作成するための理想的なツールになります。このモデルは、様々な金属および誘電膜の効率的かつ制御された処理を可能にし、沈殿物の一貫した品質と均一性を提供します。