中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198495 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、次世代マイクロチップの生産における均一性と一貫した結果を提供するように設計された高精度、超精密、マルチプロセス製造装置です。密度の最適化と直径の低減により、高い歩留まりをサポートする信頼性とスループット最適化された構造を製造することができます。AMAT ENDURAはマルチゾーンプロセス適応環境を備えており、お客様が望む目標を達成するためにシステムパラメータを微調整および最適化することができます。これには、高度なin-situ APPLIED MATERIALTS ENDURA電気化学プロセスと、他のプロセスの中でもアニール用の急速な熱処理（RTP）が含まれます。これは、プロセス基板の正確なローディングとアンロードのためのリモート制御プレートヒーターと片側空気圧制御アンカーを備えた高負荷、可変フィールド生産チャンバーを備えています。原子炉には、圧力、温度、およびその他のプロセス条件を調整するためのユニークなクローズドループ制御ユニットがあり、正確さとプロセス制御を保証します。このマシンを使用すると、プロセスシーケンスとレシピを保存および取得でき、各バッチで処理されるウェーハの数に関係なく、理想的な条件を簡単に複製できます。このツールは、建築、誘電体および導体材料の選択、およびフィーチャーサイズによる追加など、お客様のニーズに合わせてカスタマイズすることもできます。ENDURAは、低粒子生成と堅牢なトラックツールにより、優れた基板保全と資産統合を提供し、信頼性と効率性に優れています。このモデルは、極めて微細な動的プロセス制御を備えており、重要なプロセスパラメータを保持し、製造されたフィーチャーのシフトと変形を防止します。これにより、再現性が確保され、制御不良による粒子の流出を防止します。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、高速生産速度で信頼性が高く、均一で、高精度のマイクロチップを作成するのに最適な装置です。歩留まりとパフォーマンスに最適化された安定した一貫した結果を提供することができます。プロセス適応環境、クローズドループ制御、低粒子生成により、高度な加工に最適で、お客様のニーズに確実に対応します。