中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198494 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactorはエッチングプロセスに使用される半導体製造装置です。AMAT ENDURAリアクターは、ウェーハ底面に特に力を入れた高性能マイクロチップと集積回路を製造するよう設計されており、低消費電力と面積で高性能トランジスタを実現しています。アプライドマテリアルズENDURAリアクターは、複数のエッチングチャンバーを使用してウェーハ表面を高精度にエッチングおよび洗浄し、高い歩留まりとデバイス性能を確保する多段製作炉です。チャンバーは幅広いエッチング化学製品と互換性があるように設計されており、異なるエッチング工程で使用することができます。反応チャンバーは密閉されているため、エッチング化学はウェーハをチャンバからチャンバに移動するときに再利用されます。エッチチャンバーは、エッチプロセスの精密で局所的な制御のために2組の空気式アクチュエータによって処理される、ユニークな流体輸送で構成されています。アクチュエータはエッチチャンバーに接続されており、エッチング化学の流れを正確に調整できます。これにより、ウェーハ表面の最適なエッチングと洗浄が可能になります。ENDURAリアクターはまた、最適化されたエッチング処理のための高度な制御および測定システムで構成されています。このシステムは、圧力、温度、流量など、いくつかのプロセスパラメータを監視することができます。反応チャンバは、プロセスのリアルタイム監視とイメージングを可能にするさまざまなイメージングおよびデータ収集システムで構成することもできます。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターの主な利点は、その精度と、異なるエッチング化学および製造プロセスに対応する能力です。AMAT ENDURA原子炉は、効率的で信頼性の高い原子炉であり、高品質のマイクロチップと集積回路の生産のための全体的な費用対効果と信頼性の高いソリューションを提供します。