中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198491 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA
ID: 9198491
ウェーハサイズ: 12"
Membrane support fixture TITAN Head, 12" Part number: 0040-41846.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、ウェハレベルの蒸着およびエッチングプロセスのための汎用性の高い費用対効果の高いプラットフォームです。革新的で信頼性の高いアーキテクチャとソフトウェア選択可能なプロセスレシピを備えています。AMAT ENDURAリアクターは、ユーザーが迅速に物理的および化学的操作のシーケンスを選択し、変更することができ、堆積とエッチングのプロセスの広い範囲を処理するように設計されています。APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターの堅牢な設計とアーキテクチャにより、持続的で高いスループットを実現し、基板全体で均一な性能を発揮します。優れた材料柔軟性を提供するように設計されており、ハードとソフトの両方の材料のエッチングと複雑な金属合金の堆積を可能にします。D。C。、 I。F。、 R。F。などの幅広いプラズマ源により、複雑なプロセスやHi-k誘電体の優れた均一性が得られます。ENDURAリアクターはまた、O2、 Ar、 Xe、 Heなどの幅広いソース・ガスをサポートするように設計されています。リアクターのモジュール設計により、異なるエッチングおよび蒸着チャンバを柔軟に構成でき、1つのシステムで異なる化学物質を使用することもできます。直感的なAMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAソフトウェアスイートには、プロセスレシピをサポートするユーザーフレンドリーな機能が含まれています。AMAT ENDURAリアクターは、ハードウェアを変更することなく、さまざまなプロセスを簡単にサポートすることができます。この便利な機能により、プロセスを切り替える際の時間とコストを節約できます。APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、プロセス能力に加えて、精巧なモニタリングとボード上の診断ツールを備えており、正確で再現性の高い結果を保証します。原子炉上のセンサーはリアルタイムのフィードバックを提供し、電流、圧力、温度などのパラメータを最適な性能に合わせて調整することができます。ENDURAリアクターは、プロセス環境を維持し、粒子を低レベルに保つために構築され、より高い収率を可能にします。さらに、このシステムは、プロセス環境を自動的に監視して、プロセスの結果が正しくない可能性のある変更を検出するように設計されています。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、ウェハレベルの蒸着およびエッチングプロセスのための汎用性、信頼性、費用対効果の高いプラットフォームです。その広い運用範囲、ユーザーフレンドリーなソフトウェア、徹底的な監視システムは、ウェーハの堆積とエッチングプロセスの広い範囲のための素晴らしい選択肢となります。
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