中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198490 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA
ID: 9198490
ウェーハサイズ: 12"
Carriers, 12" Part number: 0040-53817.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、薄膜蒸着に使用される高度な物理蒸着(PVD)装置です。誘電体、導電性または磁性薄膜を用いた表面の高精度コーティング用に設計されています。AMAT ENDURAは、比類のないスループット、作業距離、および統合された高度なプロセス制御ツールにより、薄膜成膜に信頼性が高く、効率的で費用対効果の高いソリューションを提供します。アプライドマテリアルズENDURAは、さまざまな機能を提供する強力で効率的な物理蒸着ユニットです。最大20 in/minの高いプロセススループット、大きなプロセスエリア(11x12x50インチ)、最大200 in/minの移動速度を提供します。さらに、ENDURAには独自の拡張作業距離(EWD)機能が搭載されており、プロセスを中断することなく基板を取り外すことができます。これにより、他のPVDシステムよりも高い沈着率が得られます。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、計測、プロセス制御、分析機能を統合した精密薄膜蒸着を可能にします。それは高められた光学検出機械の使用との正確で、反復可能な薄膜の厚さそして均等性を保障します。また、クローズドループプロセス制御、光反射測定、制御プロセスプラットフォームを搭載しています。これにより、簡単なレシピ設定、精密成膜、リアルタイムプロセスモニタリングが可能です。APPLIED MATERIALS ENDURAは、精密機能に加えて、オペレータやプロセス保護のためのさまざまな安全機能も提供しています。たとえば、オペレータ保護のための完全に囲まれたデュアルポイントレーザー安全カーテン、および基板ハンドリングツールの安全シールドを備えています。ENDURAは、誘電体、導電性、光学薄膜、フォトレジストコーティング、ナノテクノロジーなど、さまざまな用途に最適なソリューションです。その信頼性の高いパフォーマンスと効率的なスループットにより、最新の産業用製造設備に最適です。
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