中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198488 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、半導体デバイスの製造に使用される多種多様な薄膜を開発するために使用される先進的な多目的化学蒸着装置です。「AMAT ENDURA」は、成膜とエッチングの2つの機能に使用されます。成膜とは、ウェーハやディスクのような基板に薄膜を付加するプロセスです。アプライドマテリアルズENDURAのチャンバーに化学ガス反応剤を導入し、反応を起こす熱またはプラズマエネルギーにさらされたときに達成されます。この反応は、基板を均一な層に被覆するチャンバー内の材料の蒸発形を生成します。エッチングは、材料の形状を除去または変更するために使用されるプロセスであり、ENDURA Reactorで処理することもできます。これは、化学反応によるウェットエッチングと、物理反応によるドライエッチングという2つの異なる方法で行うことができます。ウェットエッチングでは、高い腐食性の化学物質が基板表面の反応を維持して材料を除去し、ドライエッチングでは高エネルギーイオンを使用して材料を攻撃します。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactorは、集積回路デバイスを開発するための最高品質の信頼性の高い生産ツールをお探しのお客様に効果的な選択肢です。これは、堆積とエッチングの両方のプロセスのための堅牢な選択になる様々な機能を備えています。AMAT ENDURAは高度な流体供給システムを利用しているため、化学反応剤は毎時200ウェーハまでの優れたスループットレートで正確かつ均等に供給されます。この原子炉はまた、ウェハの温度が使用される材料に理想的な範囲内で維持されることを保証する高度な温度制御機能を備えています。自動化された冷却システムにより、温度を安定した状態に保ちながら、アプライドマテリアルズのエンデュラ加工を行っています。さらに、原子炉は、粒子、ガス、化学蒸気の蓄積を低減する絶縁チャンバー設計を採用しているため、優れた均一性を持つ堆積膜を作成することができます。ENDURAリアクターは、生産要件を満たすために高性能と信頼性を提供する優れた工業用グレードの原子炉です。半導体業界向けの集積回路デバイスの製造に最適です。