中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198485 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、薄膜蒸着プロセス用に設計された高性能な先進原子炉です。それはフィルム成長の均一性、プロセス制御および予測可能なフィルムの結果の優秀なレベルを提供するように設計されました。AMAT ENDURAリアクターは、高度な化学組成で高品質のフィルムの堆積を可能にします。このシステムは、最先端のインナーチャンバープロセスを利用して、薄膜の非線形の視力蒸着を駆動します。アプライドマテリアルズENDURAは、薄膜太陽電池、オプトエレクトロニクス、フラットパネルディスプレイ、GaNトランジスタ、MEMなどのアプリケーションに最適です。化学反応とイオンアシストの両方のプロセスを利用して、フィルムの化学組成を一貫して維持しながら、さまざまな薄膜を堆積させます。独自の熱束制御システムにより、正確な温度制御も可能です。ENDURAの高度なRF機能は、プロセス制御も提供し、沈着の均一性を向上させます。また、AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、CVDおよびPVDプロセスで使用されるオゾン生成部品の必要性を低減するために、室内オゾン生成システムを使用して、環境に優しい設計を組み込んでいます。これにより、オゾンの蓄積による頻繁なメンテナンスの必要性が低減されます。また、高度なデータ収集機能により、チャンバ内のプロセス情報を最大限に可視化し、さらなるプロセス制御を保証します。他の薄膜成膜システムと比較すると、AMAT ENDURAはその能力と信頼性が際立っています。その機能には、正確なプロセス制御、高度な均一性、スループットの向上、メンテナンスの削減、プロセスの再現性の向上などがあります。APPLIED MATERIALS ENDURAでは、環境に配慮した省エネルギー設計により、優れたフィルム品質を実現します。その高度な機能は、あらゆるタイプの薄膜成膜プロセスに適しており、多くの産業にとって不可欠です。