中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198483 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、先端技術プラットフォームのグローバルリーダーであるAMATが設計・製造した高性能リアクターです。この最先端の原子炉は、半導体基板に薄膜層などの成膜を容易にするように設計されています。AMAT ENDURAは、酸化物、ポリシリコン、窒化物、および金属ベースの材料を最大200nm/minの蒸着速度で堆積することができます。アプライドマテリアルズENDURAの汎用性の高いプロセスチャンバーには、シングルソースから最大4つの前駆体まで、複数のソース構成を装備できます。さらに、原子炉は3つのプラズマ源と1つの物理蒸着源にも適応できます。ENDURAリアクターは複数の温度制御ゾーンを備えており、正確な温度制御と基板の均一性を実現します。プロセスコントローラは、基板へのさまざまな材料の堆積を容易にするために、最大9つの温度ゾーンを提供します。このプロセスコントローラは、基板沈着プロセスをさらに精製するために最大32の追加ステップのレシピもサポートします。原子炉の性能を向上させるために、AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAはAMAT ENDURA EQソフトウェアを搭載しています。この高度なソフトウェアは、各プロセスパラメータを監視し、リアクターの操作にリアルタイムのフィードバックを提供します。APPLIED MATERIALS ENDURAは、高度な安全機能も備えています。この原子炉は、半導体産業が定めた厳しい安全規制を満たすように設計されています。例えば、原子炉の外観は、クラス1000のクリーンルームに囲まれています。また、ENDURA原子炉では1。3 Pa cc/secの漏洩率が報告されています。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAには、緊急停止スイッチと、原子炉が危険な温度レベルに達した場合に鳴るアラームも搭載されています。AMAT ENDURA炉は、さまざまな半導体アプリケーションに最適で、DRAM、 SRAM、 NOR、 NAND、 RFICの製造に使用されています。この汎用性の高い原子炉は、さまざまなチップ設計やサイズの製造に使用できます。APPLIED MATERIALS ENDURAは、コンポーネント、3D構造、パッケージングなどの幅広いプロセス技術もサポートしています。ENDURAリアクターは全体的に優れた性能、汎用性、安全性を備えているため、さまざまな半導体アプリケーションに最適です。信頼性の高い最先端の設計と高度なソフトウェアにより、最高の業界基準を満たしながら生産率を最大化します。
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