中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9190959 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、精密な厚さと均一性を正確に成膜するために設計されたCVD（化学蒸着）薄膜蒸着装置です。AMAT ENDURAシステムは、優れた均一性と適合性を備えた一貫した信頼性の高い薄膜層を製造することができる、高度で高速な高スループットソリューションです。このユニットの主な用途には、誘電膜の堆積、バリア層、パッシベーション層、エッチングストップ層があります。応用材料ENDURAは、望ましい薄膜を提供するための3つの主要なコンポーネントで構成されています。ローディングボードは、基板を保持し、反応容器に輸送する一連のクランプで構成されています。反応容器は、ツールの最大のコンポーネントであり、通常、均一な負の静電界を作成するために、チャンバー内のダイヤモンドチップ電極の数百と2つまたは3つの水冷電極を含む大きな円筒形のステンレス鋼のチャンバーで構成されています。ENDURAアセットの制御モデルにより、堆積プロセス全体を正確に制御できます。これには、反応容器に圧力、温度、ガス流量などのパラメータを設定するだけでなく、電極への電力補償も含まれます。また、反応容器の温度、電極数、電極の間隔、基板搬送速度を必要に応じて調整することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、有機材料や無機材料を含む幅広い基板において、均一で適合性のある薄膜を迅速に成膜するために設計されています。この装置は、他の同様のシステムよりも高い蒸着速度を達成することができ、蒸着速度は1時間あたり最大10マイクロメートル（µm）です。このシステムは、非常に再現性と再現性の高いプロセス結果を達成する能力を提供し、薄膜蒸着プロセスの精度と精度を確保します。AMAT ENDURAは、均一性とプロセスの再現性のために、過熱保護ユニットやプロセスを監視するセンサーのセットなど、さまざまなフェイルセーフ機能を内蔵しています。APPLIED MATERIALS ENDURAは、高品質の薄膜成膜を必要とする業界に最適な汎用性とダイナミックな機械です。ENDURAツールは、優れたプロセス結果、優れた均一性と適合性、優れた蒸着速度、およびさまざまな自動フェイルセーフ機能を提供します。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAアセットは、高品質の薄膜製品の開発と製造に最適なソリューションです。