中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9182273 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactorは、半導体やその他のプロセス業界のさまざまな用途に使用できるマルチチャンバー機器です。この原子炉は、高温/圧力/真空互換性のある操作やプラズマベースの蒸着ソリューションなど、幅広い機能を備えた高品質の製造プロセスを可能にします。このシステムは、加工材料の選択と組み合わせに関して高いレベルの柔軟性を提供します。AMAT ENDURAリアクターのチャンバーは、高度な金属や材料の堆積のために特別に設計されています。これは、プロセス変数の正確な制御を可能にする高度なプロセス制御技術を備えています。原子炉は、プロセスの中断のない観察を容易にするために、チャンバーの上部、下部、側面に大きな窓が装備されています。ユニット内のコンデンサは、粒子を除去するだけでなく、電極に電流を供給するのに役立ちます。チャンバー内の温度は、手動および自動で制御されるセラミックスプリットヒーターによって制御されます。アプライドマテリアルズENDURA原子炉には、非常に効率的なプラズマ環境を作成するために、誘導結合プラズマ源と組み合わせて動作する電子サイクロトロン共鳴源が提供されています。効率的なプラズマ環境により、幅広いマクロプラズマ材料の堆積が可能になります。原子炉室には、基板材料の表面に正確にプロセスガスを分配するガス分配機も備えています。このツールはまた、簡単なガスのプリフィルターと監視機能を可能にします。ENDURAリアクターは非常にユーザーフレンドリーで安全であるように設計されています。ハードウェアとプロセスパラメータの両方を簡単にプログラム、監視、制御できる組み込みソフトウェアが付属しています。また、統合アラームシステム、データロギング/履歴サポート、高度な材料/電極監視機能など、幅広い機能を備えています。Over Temperature ProtectorやOver Current Protectorなどの安全機能もあります。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactorは、幅広い製造およびプロセス用途に最適です。その多目的な設計、ユーザーフレンドリーなインターフェイス、および良質の構造はそれを現代製造業のための完全な選択にします。
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