中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9176602 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、幅広い温度範囲の先端材料研究のためのアプリケーションを提供するために設計された原子炉です。この装置には、均一な温度チャンバーと、プラズマ処理、2つの炉、および任意の温度で優れた均一性を有するフラットパネル基板を提供する加熱ゾーンなどの幅広い機能が装備されています。したがって、急速熱処理（RTP）プロセスと急速熱アニーリング（RTA）プロセスの両方に最適です。AMAT ENDURAの加熱ゾーンは、80°Cから1050°Cまでの温度を提供することができます。熱源の均一性は、高度な材料研究に不可欠な熱処理の均一性を提供します。このシステムにはプラズマ源も組み込まれており、材料処理と堆積のための低温プラズマを提供します。アプライドマテリアルズENDURAは、インジウム酸化物（ITO）や誘電体などの高感度材料、セラミックスやダイヤモンドなどの光学活性材料を使用するように設計されています。ENDURAユニットは、グラファイト発熱体とシリコンカーバイド（SiC）発熱体を備えた2つの炉モジュールを備えています。加熱素子はいずれも最大1000°Cの定格で、真空チャンバーに取り付けられているため、基板全体で優れた均一な加熱が可能です。高温で優れた均一性を発揮する炉モジュールは、先端材料研究に欠かせません。この機械には、反応イオンエッチング（RIE）プロセス用と化学蒸着（CVD）プロセス用の2つのプラズマ源が取り付けられています。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAには、実験室の担当者が実験の進捗状況を監視できる統合パラメトリック測定ツール（PMS）も搭載されています。PMSは、電流、温度、および抵抗の読み出しを提供し、研究者が実験のパラメータをリアルタイムで正確に測定できるようにします。PMSはまた、資産の機能の拡張を容易にし、3Dファブリケーションやナノチューブアプリケーションなどの最新の材料開発技術の統合を可能にします。全体として、AMAT ENDURAは、先進的な材料研究開発のための信頼性の高い強力な原子炉およびラボソリューションです。その均一な温度チャンバーと、2つの炉と加熱ゾーン、プラズマ源、パラメトリック測定モデルを含む幅広い機能は、困難な材料処理を実行するための理想的な選択肢です。この装置は、汎用性と信頼性の両方を備えており、迅速な時間枠で優れた結果を提供することができます。