中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9174930 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、半導体やその他の先端技術製造プロセスにおけるプラズマエッチングの高速化、高精度、安定性を実現するために設計された画期的なプラズマエッチング炉です。この新しいエッチリアクターには、スループットを向上させ、歩留まりを向上させる独自の強力な機能と機能が含まれています。この原子炉はシングルチャンバー設計に基づいて構築されており、同じ装置で複数の異なるプロセスを実行することが可能であり、柔軟性のために設計されており、ポリシリコン、ポリイミド、ポリシリケート、ポリオキシド、窒化物などの幅広い材料の高品質エッチングを可能にします。このシステムは高効率で信頼性が高く、優れたパフォーマンスを提供しながらメンテナンス要件を低減する高度な機能を備えています。独立したバルブフォアラインを組み込んでおり、ユーザーは一貫した再現性のあるプレス確実性を維持し、プロセスパラメータの制御を向上させることができます。さらに、AMAT ENDURAプラズマエッチング炉は、ガス化学、RF電源、圧力、バッチサイズなど、さまざまな化学およびプロセスのバリエーションの下でうまく機能します。APPLIED MATERIALS ENDURAは、既存の自動エンドポイント検出（AED）ユニットの改良版も備えており、お客様がエッチングプロセスを一貫して正確に監視および制御できるように設計されています。AEDは、リアルタイムでプロセスエンドポイントを一意に識別および分類できる機能認識アルゴリズムを使用しています。これにより、下流の汚染のリスクが低減され、複雑性が低減され、最高の達成可能なエッチング率が保証されます。このマシンはまた、リモートプラズマソースのシャットダウン、障害状況の自動レシピスイッチング、プロセスを監視するための複数のオプションなど、多くの有用なプロセス保護機能をユーザーに提供します。これらの安全機能により、優れた製品品質とツールから資産までの一貫したパフォーマンスが保証されます。ENDURAプラズマエッチングリアクターは、半導体製造における高度なプロセスのための完全かつ強力なソリューションであり、高品質のエッチング結果、歩留まりの向上、効率の向上を提供します。このモデルの特徴と機能は、あらゆるエッチング用途に理想的な選択肢となり、信頼性と再現性の高い性能を提供し、リスクの低減と高度なプロセス制御を実現します。