中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9170089 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、様々な基板上に小型集積回路を製造するためにAMATによって作成された原子炉です。この原子炉は、集積回路の製造プロセスにおいて3つの重要なステップを実行するように設計されています。最初のステップは物理蒸着（PVD）です。これは、材料の薄膜を基板に堆積させるプロセスです。これは、基板の電気的および構造的特性を改善するために行われます。第二のステップは、材料の第二層を堆積するために使用される低圧化学蒸着（LPCVD）です。この第2層は絶縁材としてまたは接触の層として使用することができます。最後に、最後のステップはエッチングです。これは不要な材料を除去し、基板上に正確なパターンを作成するために使用されます。原子炉は、ポリシリコン、ケイ化物、コバルト、タンタル、銅、タングステン、アンチモン、ホウ素、リン、シリコンなど、さまざまな材料を処理することができます。スパッタリング、化合物層の沈着、エッチングなど、さまざまな基板やプロセスに対応できる柔軟性を備えています。AMAT ENDURAリアクターは高度な技術機能を備えています。Robistar™リニアドライブシステム、DCアークおよびマグネトロンスパッタリングシステム、RGA質量分析計、サンドブラストおよびレーザトリミング用の複数のヘッドを内蔵しています。原子炉はまた、反応ガス環境の基板の処理と制御にデータ収集システム（DAQ）を使用しています。アプライドマテリアルズENDURAは高効率で、集積回路の製造に精密な結果をもたらします。また、低温動作範囲があり、高い生産性と優れた歩留まりを提供します。4基のヘッドを備えており、最大4基の基板を並列処理することができ、大量生産には費用対効果の高い選択肢となっています。さらに、設計はモジュール式であるため、ユーザーは異なる基板を切り替えることができ、生産プロセスをニーズに合わせて調整することができます。安全性に関しては、ENDURAリアクターが認定され、CEマークの基準を満たしています。ガス漏れ、温度、圧力を検出する複数の安全センサーが付属しています。また、原子炉は緊急停止システムと緊急換気システムを使用して、さらなる保護層を構築しています。結論として、AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、集積回路の生産のための非常に効率的で正確なツールです。その特徴は、大量および幅広い基板での生産に理想的な選択肢となります。そのモジュール性と柔軟性は、さまざまな施設に最適です。さらに、安全機能により、最低限のリスクで信頼性の高い高品質な結果を得ることができます。