中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9167548 を販売中

AMAT （APPLIED MATERIALS） AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、研究環境と生産環境の両方で基板を処理するためのツールです。このツールは、半導体、高度なパッケージング、および太陽光発電/太陽エネルギー生産におけるシングルウエハおよびバッチ処理アプリケーション向けに特別に設計されています。このリアクタは、ウエハスループットを向上させ、歩留まり性能を向上させる独自の連続ウェハトランスポートプロセスを使用しています。AMAT ENDURAはプロセスに最適です。同リアクタ内でのフルウェーハ処理を可能にし、1時間あたり最大100ウェーハのスループットを実現します。このツールは、アニーリング、酸化、エッチング、ダイヤモンド沈着、イオン注入など、さまざまなモジュール処理のための幅広いオプションを提供しています。このシステムは、モジュール間で0。5秒の転送時間を持つ自動ローディングモジュールとアンローディングモジュールも提供します。応用材料ENDURAは、原子炉室、基板ハンドラ、および複数の処理モジュールで構成されています。原子炉室は円筒形で面積対容量比が大きく、低圧運転とプラズマ汚染を最小限に抑えることができます。このシステムは、シングルウェーハとバッチ処理アプリケーションの両方の処理に適しています。基板ハンドラは、ロードされたカセットと処理モジュール間の基板の高速かつ正確な転送を提供するように設計されています。ENDURAは、優れたプロセス柔軟性、再現性、信頼性を提供します。これにより、高度なR&Dタスクや量産に最適です。精密制御システムと正確な加熱システムが装備されているため、工具はプロセスガスとプロセス温度を正確に制御できます。これにより、他の蒸着システムと比較して蒸着率が低くなります。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、温度、圧力、流量測定用のさまざまな冗長プロセスパラメータを備えているため、信頼性の高いプロセスを提供するように設計されています。また、さまざまな安全機能を備えて設計されています。これには、加工チャンバ内にある表面温度モニタと過熱センサーが含まれます。パフォーマンス面では、AMAT ENDURAは並ぶものではありません。このツールは、高速サイクル時間、優れたプロセス再現性、および高いプロセス歩留まりを提供します。また、最新のプロセスオートメーションを提供し、シングルプロセッシングアプリケーションとバッチ処理アプリケーションの両方を可能にします。その多目的な設計および信頼性はそれをあらゆる基質の処理の適用のための理想的な選択にします。