中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9167421 を販売中

ID: 9167421
ウェーハサイズ: 12"
PVD Preclean chamber, 12" Includes: CTI Cryogenics P300 On-Board cryopump P/N: 8116250G001 & 8113192G001 Control module GRANVILLE-PHILLIPS Stabil-ion gauge & 352 gauge controller AMAT 0010-21748 RF match Process chems: DI water helium argon nitrogen.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、物理蒸着(PVD)および化学蒸着(CVD)アプリケーションの半導体業界で使用されるツールです。複数のチャンバ構成で生産グレードのスループットを実現し、さまざまな堆積物を実行できます。AMAT ENDURAは、操作を簡素化し、プロセスの成果を改善し、市場投入までの時間を短縮しながらダウンタイムを短縮する、自己完結型の使いやすいツールです。革新的なロードロック設計により、効率を最大限に高め、ユーザーはさまざまなプロセスゾーン間で基板を転送できます。APPLIED MATERIALS ENDURAの主な利点は、次世代デバイスの複雑な金属化と高度な誘電アプリケーション用に特別に設計された高性能プロセスヘッドです。このプロセスヘッドは、1つのチャンバーで最大5つのプロセスステップを処理できるため、サイクル時間を大幅に短縮して複数の堆積を完了できます。さらに、ENDURAは高効率のガス源インレットを備えており、プロセスチャンバーの温度安定性が向上しています。これにより、ウェーハの均一性とプロセスの再現性が向上し、製品の一貫性が向上します。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAを使用することで、同じプロセスチャンバー内でも低い欠陥レベルを達成することができます。これは、低粒子の汚染のおかげであり、これは、汚染された粒子だけが脱出することを保証する特許取得済みのモジュラーゲートフィードシステムによって有効になります。AMAT ENDURAはマルチチャンバープラットフォームも備えており、ユーザーは特定のアプリケーションに適した構成を選択できます。複数の構成が利用可能なため、ユーザーはセットアップを簡単にカスタマイズし、複数のタイプの堆積を一度に実行でき、プロセスの柔軟性を最大化し、目的の結果を迅速に達成できます。最後に、APPLIED MATERIALS ENDURAは操作が簡単なツールです。直感的なタッチスクリーンユーザーインターフェイスが含まれており、レシピを作成してプロセスを最適化するプロセスを簡素化し、ユーザーが望む製品結果を迅速かつ正確に達成できるよう支援します。要約すると、ENDURAリアクターはさまざまなチャンバー構成で生産グレードのスループットを提供し、サイクル時間を短縮して複数のプロセス工程と堆積を可能にします。高性能で使いやすいツールで、操作を簡素化し、不具合レベルが低い反復可能な結果を達成しながら、プロセス時間を短縮します。
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