中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9165615 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、半導体デバイス製造プロセス向けの高性能、フルフィールドバッチリアクターです。多種多様なエッチングおよび蒸着用途に使用するために設計されたこの原子炉は、優れたプロセス均一性と再現性を提供します。AMAT ENDURAリアクターは、2つの温度ゾーン、2つのガスゾーン、2つの電源、2つのプラズマ源を備えており、さまざまな半導体デバイス製造ジョブの理想的な条件を作成するために組み合わせて使用することができます。APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、手作業やフットペダル操作が可能なタッチスクリーンディスプレイなどの高度な制御システムを使用して、優れたプロセス制御と再現性を提供します。これにより、基板温度、RF電力、プラズマパラメータ、ガスフローなどのパラメータを調整して、最高のプロセス性能を得ることができます。このよく設計された原子炉室は、複数のプロセスの課題を一度に処理できるマルチチャンバーアーキテクチャを備えています。そのガス密度の高い構造により、複数の反応ガス種が存在する場合でも安定した長寿命の動作が保証されます。チャンバーの壁の周りに堅牢なメカニカルシールを使用すると、真空の完全性が動作中に保持されます。原子炉には、酸素、塩素、フッ素、アルゴン、窒素などの幅広いガスを搭載でき、蒸着、エッチング、洗浄作業に使用できます。その先進的なガス供給システムは、これらのリアクタントガスを正確かつ再現可能に配信します。ENDURAリアクターは、自動チャンバークリーニング、温度制御、室温乱用システムなど、幅広い分野で使用できます。これにより、原子炉はプロセス性能を損なうことなく広い温度範囲で動作することができます。このリアクターは、モジュール性が高くカスタマイズ可能な設計となっており、ユーザーは余分な電源やプラズマ源などのコンポーネントを追加することができます。これにより、堆積、エッチング、イオン注入、洗浄など、幅広い用途に使用できます。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、多種多様な半導体アプリケーションに最適です。それは優秀なプロセス均等性および反復性、また適用範囲が広く、カスタマイズ可能な操作を提供します。また、信頼性が高く、メンテナンスフリーの長寿命を提供します。