中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9161792 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、高速で大量生産のために設計された高効率で最先端の原子炉です。150mmと300mmのウエハ加工が可能な非常に汎用性が高く信頼性の高いプラットフォームです。AMAT ENDURAは、高度なウェハマッピング、多軸ウェハアライメント、マルチゾーン温度制御、高度なパワー制御など、最高品質のプロセスを保証するための高度な技術を採用しています。これらの機能を通じてアプライドマテリアルズENDURAは、大量スループットと高精度プロセス制御の業界リーダーとなっています。ENDURAは、強固で堅牢な構造を提供するために、航空宇宙グレードのアルミニウムおよびステンレス鋼部品から作られています。これは、ウエハマッピングやアライメント、HDTV検査、酸化、蒸着、エッチングなどのプロセス中に50以上の異なるプロセスを実行することができる高度にインテリジェントなウエハ処理制御ソフトウェアと組み合わされています。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAにより、高精度で高品質のシリシドおよびエピタキシャルステップを実現します。AMAT ENDURAの最も印象的な機能の1つは、すべての基板にわたって安定した反復可能な結果を提供する能力です。これは、基板マッピングとアライメントのデュアルサイドによって実現され、ウェーハの両側で一貫した結果を保証します。さらに、ウェーハムーブメントサブシステムには高速DCモータが搭載されており、非常に精密で正確なステップアンドリピート動作が可能で、プロセスがより一貫しています。高度な熱検証システムは、プロセスチャンバ全体にわたって均一な温度を維持するのに役立ち、異なる基板間の温度を非常に正確に制御することができます。これにより、処理ステップによって引き起こされる熱変動のリスクを排除し、より一貫した結果をもたらします。この高度な制御システムには、処理中にウェーハ温度を正確に測定できる高精度のシングルゾーン自己適応型ウェーハ温度センサも搭載しています。最後に、APPLIED MATERIALS ENDURAは、処理ログを効率的にレビューできる包括的なデータロギングパッケージも備えています。このデータロギングパッケージは、高品質の記録解像度、ログコンテンツのリアルタイム表示、およびユーザー定義のログパラメータを備えています。このパッケージは、エンドユーザーがプロセスの問題を簡単かつ正確にトラブルシューティングするのに役立ちます。ENDURAは、高度なプロセス制御技術を備えた高効率で信頼性の高い処理プラットフォームであり、ユーザーが再現可能な高品質の結果を得ることができます。それは大量の生産の必要性のための理想的な選択です。