中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9150112 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）装置の革新的なタイプです。高い柔軟性と高度なシステムにより、幅広い成膜用途で優れたフィルム品質と性能を提供します。このユニットは、ユーザーに独自のプロセスのパラメータを定義し、生産性と出力を同時に最大化するための最先端のオプションを提供するように設計されています。AMAT ENDURA Reactorはシングルチャンバー積層設計により、最大9インチウェーハ以上の複数のウェーハ機能をダミーウェーハで実現し、多種多様なユーザーの要求に応えるフィルム品質の均一性を確保します。全自動ソリューションは、低温プリカーソル制御からチャンバ圧力制御、基板から基板までの均一性までの機能を備えた高度なプロセスコントローラーシステムによって補完されます。この原子炉は、特殊なフォーカシングプレートと正確なウェハポジショナーを備えたエッジバイアスを使用して、蒸着の均一性を実現しています。また、アプライドマテリアルズENDURA Reactorの高度なプロセスモニタリング機能（in-situ質量分析計や反射計など）により、正確なフィルム性能が保証されています。ENDURA Reactorは、補助プロセスを統合するためのロードロックマシンも装備されており、高度な安全機能と監視機能を備えています。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactorは汎用性が高くユーザーフレンドリーであり、ユーザーは要件の変化に応じてプロセスパラメータを迅速かつ簡単に定義し、迅速に調整することができます。AMAT ENDURA Reactorはエネルギー効率が高く、エネルギーコストの削減に貢献し、安全な作業環境を確保する最高の安全基準に準拠しています。全体として、アプライドマテリアルズENDURAリアクターは、さまざまな蒸着アプリケーションで優れたフィルム品質と性能を提供する高度なツールです。ENDURA Reactorのユーザーは、複数のウェーハ機能、高度なプロセスコントローラーシステム、およびその場での質量分析および反射計を提供し、必要なアプリケーションのパラメータを迅速かつ簡単に調整し、エネルギーコストを削減し、同時に生産性を向上させることができます。