中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9147096 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、半導体材料のエピタキシーに使用される生産設備です。シングルウェーハチャンバーを備えた高温化学蒸着（CVD）装置です。システムは、ソース、原子炉室、ターボ分子ポンプ、および熱交換部品である様々なコンポーネントで構成されています。ソースは、チャンバーにポンプで送られる反応性ガスと熱エネルギーの組み合わせです。これらのリアクタントガスがチャンバーを通過すると、チャンバー内の温度が上昇し、ウェーハ上の望ましい材料を生成するために使用されます。このチャンバーには、誘導結合プラズマ（ICP）コイルなどのいくつかの発熱体が含まれており、ワークを適切に維持し、粒子を含まないようにするために使用される静電チャックが装備されています。さらに、チャンバーにはターボ分子ポンプが含まれており、チャンバー内の圧力を正確なレベルで維持する責任があります。すべてのリアクタントガスを通過した後、AMAT ENDURAユニットには冷却機が装備されており、ワークとチャンバーを所望の温度まで急速に冷却することができます。この冷却ツールは、製品の過熱および損傷の可能性を低減するため、資産のパフォーマンスにとって重要です。さらに、APPLIED MATERIALS ENDURAモデルには様々なデジタルコントロールが装備されており、操作や監視が容易になります。ENDURAリアクターには、半導体製造に最適な多くの利点があります。この装置は非常に信頼性が高く、運用性能を損なうことなく定期的なプラントのメンテナンスと保守に耐えることができます。さらに、非常に効率的であり、顧客のエネルギーコストを削減することが知られています。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAシステムは、再現性の高い半導体材料を大量に製造することができます。全体として、AMAT ENDURAリアクターは、高品質の半導体材料の生産を支援するために設計された信頼性の高い効率的な生産設備です。このユニットには、半導体製造プロセスを検討している企業にとって素晴らしい選択肢となる多くの利点があります。