中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9116853 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactorは、金属蒸着速度を向上させ、技術的に要求の厳しいエッチング、基板配置、および蒸着プロセスの再現性を向上させるために設計された高度な高スループット金属蒸着装置です。このシステムは、単一または複数の蒸着源、連続または周期的なウェーハ回転を可能にし、高い均一性と再現性を提供します。AMAT ENDURAリアクターは、堆積プロセスを効果的に実行するために、統一されたユニットとして一緒に動作するいくつかのコンポーネントで構成されています。これらのコンポーネントには、プロセスチャンバー、エンドエフェクタ、昇降パネルローダー、冷却ファン、加速度計、複数の蒸着源、および特殊制御ユニットが含まれます。プロセス部屋は圧力、流れおよび温度を制御する同心円柱のペアから成っている機械の主要なモジュールです。アプライドマテリアルズENDURAエンドエフェクターは、ウェーハをチャンバー内に配置して回転させることができ、レバー操作、低粒子放出、昇降パネルローダーの上に配置され、素早く簡単に基板の積み込みと積み下ろしが可能です。複数の温度センサと組み合わされた高出力の冷却ファンツールは、プロセスチャンバー全体にわたって均質な温度分布を維持します。高度な加速度センサーは、ウェーハの動きを登録して監視し、一貫した結果を維持するために使用されます。ENDURA Reactorは、ルテニウム、合金、金、アルミニウムなどの幅広い合金タイプとその堆積のために、複数の堆積源のために構成可能です。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactorはまた、資産をプログラムしやすくし、不要な変動を減らし、プロセスのスループットと均一性を高める豊富な機能を提供します。このインターロック機能により、ウェーハがインプロセスされている間にインターフェースのステップが発生するのを防ぎます。一方、セーフティモデルは、インターロック中にプロセスチャンバーのドアが誤って開くのを防ぎます。制御装置は、ユーザーが精度と精度で堆積プロセス全体を制御し、計画することができます。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）により、基板の配置と設定をリアルタイムで表示、分析、変更できます。このソフトウェアはまた、複数の複雑な入金のためのレシピスクリプトの自動生成を可能にし、より迅速かつ正確なジョブ実行を可能にします。要約すると、AMAT ENDURA Reactorは、蒸着プロセスの効率を自動化し、改善するために設計された高度な高スループット金属蒸着システムです。その洗練されたコンポーネントとソフトウェアは、金属蒸着速度と精度を向上させる信頼性の高い汎用性と能力の高いユニットです。これにより、エッチング、基板配置、その他の蒸着プロセスなど、幅広い金属蒸着アプリケーションに最適です。