中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9116839 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、高度なパッケージング、光学、およびMEMS産業の生産課題に対応するために設計された物理蒸着およびエッチング装置です。AMAT ENDURAは、これらの要求の厳しいアプリケーションの厳しい要件を満たすために、精度、精度、および信頼性を保証します。APPLIED MATERIALS ENDURAの統合ハードウェアプラットフォームは、堆積、アニール、表面処理、計測、リソグラフィなど、さまざまな複雑なプロセスのために設計されています。この原子炉は、低温、不活性、反応性および真空プロセス機能、ならびにプロセス制御を可能にします。ENDURAは、金属、シリコン、窒化物、二酸化イリコン、有機材料などの幅広い材料を処理できます。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、モジュラープラットフォームと他のAMAT ENDURAシステムとの互換性を備えており、さまざまな半導体およびフォームファクタのパッケージングに拡張性を提供します。アプライドマテリアルズENDURAはまた、小型ウェハを含む複数のウェハサイズとの互換性を提供します。この原子炉は、精度が重要な環境で使用するために特別に設計されており、高いスループット、再現性、優れたプロセス制御性能を必要とするあらゆるアプリケーションに適しています。ENDURAには、AMAT i-coatプロセス制御スイートなどの一連のプロセス制御システムが含まれています。これは、自動化されたウェーハパッチングと蓋のギャップ、および自動化されたプロセスレシピ、実績のある沈着率、優れたプロセス制御性能を提供します。これにより、蒸着速度を最小限に抑えることができます。このユニットはまた、高い沈着率を持つるつぼやるつぼなしの堆積などのオプションを備えています。機械的および低温ポンプによって生成される真空機械は、プロセス時間と高真空環境を優れた制御を提供します。このハイエンドツールには、ICP ETCHおよびAPPLIED MATERIALS特許取得済みのPOLITEパネルと、プロセスおよび計測精度のための追加のエッチングおよびアニール制御を提供するアニール資産が含まれます。この原子炉には、より高いプロセス精度と生産性を実現するSEMIデュアルビームアライメントステーションも備えています。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、その精度と精度により、高度なパッケージング、光学およびMEMS産業のニーズを満たすように設計されています。優れたプロセス制御、モジュラープラットフォーム、および他のAMAT ENDURAシステムとの互換性により、ダウンタイムの短縮と歩留まりの向上を実現します。原子炉の汎用性の高い技術は、企業が生産ニーズの寿命にわたって最高レベルのプロセス精度と歩留まりを達成するのを助けるように設計されています。