中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9105850 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、半導体製造で使用される産業用グレードのワークホースリアクターです。この物理蒸着（PVD）ツールは、回路、フォトニクス、ウェアラブル、生体医療インプラントなどの多様な用途のために、ウェーハ、チップ、その他の基板に材料の薄膜を堆積するように設計されています。AMAT ENDURAリアクターは、各シーケンスに複数の堆積と露出を可能にする特許取得済みの3チャンバー設計を利用しています。銅、タングステン、アルミニウム、ケイ化物などの蒸着材料、チタンやアルミニウムなどのキャッピング材料をサポートしています。精密なプロセス制御と再現性により、このツールは一貫した結果とマスクの適合性を提供します。超低粒子放出により、パーティクルカウンタは不要であり、ウェーハの回収や洗浄の必要性が低く、その結果、他のPVDツールよりもスループットが向上します。APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、チャンバー環境のチューニングを可能にする柔軟なコントローラを備えており、最適な蒸着条件を提供します。これは、高品質の薄膜を確実に堆積させるのに役立ちます。ENDURAは、蒸着機能に加え、過酸化水素やTMAHなど様々な化学物質を用いたウェットエッチングや表面洗浄が可能です。このエッチング機能は、MEMなどの一部のデバイスのパフォーマンスを向上させるのに役立ちます。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、その汎用性、堅牢な設計、および心の能力により、半導体およびオプトエレクトロニクス製造に広く使用されています。高速かつ正確な薄膜成膜を可能にし、プロセスパラメータの優れた再現性を実現し、良好なプロセス制御を提供します。