中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9096488 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、超高生産性処理のために設計された高度な蒸着装置です。最高の生産効率を念頭に設計されており、さまざまなプロセスで極端なプラットフォーム性能を提供します。AMAT ENDURA原子炉の中核は、自動半導体生産システム（ASPS）を搭載したアプライドマテリアルズENDURA Enhanced Stage （EES）です。このユニットは、材料の均一性の制御と保証を高め、プロセス精度と再現性を向上させます。EESは独自のシャフト設計を採用しており、関連するサセプターやロボットアームとのツール統合が可能です。さらに、EESは、均一で正確で反復可能なチャンバー移動マップ、より効率的な基板のローディングとアンロード、メンテナンス時間の短縮を提供します。ENDURAリアクターのハイスループット蒸着プロセスは、液体供給機を使用し、リアクティブイオンエッチング（RIE）ツールまたはイオンインプラント資産をそのアーキテクチャにシームレスに統合することができます。これにより、プロセス工程の一貫した再現性のあるスループットと、自動化されたプロセス制御の完全な統合が可能になります。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターには、最適なプロセス開発と実行のために統合された真のクローズドループ・プロセス制御および監視モデルも備えています。AMAT ENDURAリアクターは、異なるターゲット材料で複数のプロセスチャンバー構成を提供します。これにより、ユーザーにフルレンジのカスタム処理と柔軟性を提供します。アプライドマテリアルズENDURAリアクターには、プロセスのステップまたは特定のアプリケーションに応じて、最適化されたスループットと均一性を提供するために、2つの異なる動作モードがあります。ENDURAリアクターは、安全性の点で、ハードウェアとソフトウェアの両方の保護を備えた新開発の安全インターロック装置を誇っています。これにより、システム内のあらゆるプロセスステップを監視することができ、ユーザーに最高レベルの安全対策を提供するように設計されています。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、完全に自動化された材料データベースを備えており、材料プロセス、現在のプロセス時間、および基板温度制御に関する最新の情報を常に維持できます。AMAT ENDURAリアクターには、バッチトラッキングユニットと内部監査ロギングマシンも装備されています。これにより、プロセスへの変更を記録し、ロットと基板の生産を追跡し、処理中に行われた変更やアクションの監査証跡を保持できます。これにより、最新の情報が常に利用可能になります。最後にAPPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、さまざまなプロセスで超高生産効率と柔軟性を維持できる高度な成膜ツールです。最適な性能と安全性を確保するために、さまざまな機能と技術を備えており、生産管理と高スループット機能のためのユニークなプラットフォームを提供しています。