中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9060632 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、さまざまな基板に一貫した信頼性の高い薄膜を堆積するために使用される高性能機器です。このシステムは、優れた薄膜性能、均一性、再現性を提供することができます。これらのフィルムの品質は、AMAT ENDURAの業界トップクラスのスループット、プロセス制御、柔軟性、歩留まりに明らかです。APPLIED MATERIALS ENDURAは、高度なアークガンテクノロジーを使用して、高品質の薄膜を製造しています。アークガンは、タングステン、モリブデン、イリジウムなどの高導電性材料を含むアノードで構成されています。アノードは真空チャンバ内に配置され、DC電源を使用してアノードとカソード、または基板の間にアークを形成します。その後、アークは中性プラズマと基板上の薄膜を生成します。ENDURAユニットは、幅広い用途に合わせて調整可能な高調節プラットフォームを提供します。温度、圧力、パワーレギュレーションなどのプロセス制御機能により、薄膜成膜の微調整が可能です。これにより、反応ガス、ドーパント、その他のプロセス条件を正確に調整することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAマシンキャリアボードは、成膜プロセス中に膜厚、均一性、およびステップカバレッジを変更する機能も提供します。キャリアボードは、複数のガス源を使用して強化フィルムを提供し、それぞれのソースは独自のガス質量流量バルブを介して独立して制御されます。これにより、蒸着中のリアクタントガスの変調が可能となり、膜厚制御に優れた薄膜を実現します。AMAT ENDURA Reactorは、最先端のデバイスの製造における重要なコンポーネントです。このツールによって生成される優れた薄膜は、高いスループットサイクルを維持しながら、優れたプロセス制御と再現性を提供します。フィルムは信頼性と一貫しており、ユーザーは最高品質の最終製品を生産することができます。
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