中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9052314 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、高度で特殊な半導体処理炉です。半導体業界の企業や研究者が、最高品質のフォトマスク、マルチチップモジュール、複雑なウエハレベルの部品の製造を可能にするように設計されています。AMAT ENDURAプラットフォームは、水平軸と垂直軸を備えた二軸構造で、原子層成膜(ALD)、化学蒸着(CVD)、およびその他の高精度ウェハレベル処理を行うための費用対効果の高い効率的なソリューションを提供します。この装置の主な利点は、信頼性の高い再現性の高い方法で幅広い種類の基板を処理する能力と、比類のない精度でプロセスを処理する能力です。APPLIED MATERIALTS ENDURAシステムは、1mm程度の小型ウェーハなどの小型基板に加え、10インチガリウムヒ素(GaAs)ウェーハなどの大型基板を加工することができます。このユニットは、適応可能な温度範囲に加えて、最大2700ミリバーの圧力範囲を備えています。また、温度、圧力、および処理時間要因を非常に正確に制御し、信頼性の高い反復可能な性能を保証します。この機械は、熱酸化物、金属酸化物、コバルト酸化物、ダイヤモンドのような炭素など、さまざまなプロセス化学物質を扱うことができます。処理時間はわずか数分の範囲で実現できるため、クイックサイクルタイムを必要とするアプリケーションに最適です。さらに、原子炉は高周波電力を利用しており、正確な材料コンフォーマル堆積のための正確な線量制御を保証するのに役立ちます。ENDURAツールは、優れた性能を発揮するイタリア製モーションコントローラを搭載し、プラットフォーム上で複雑な動きパターンを正確かつ正確に実行することができます。このアセットは完全に自動化されているため、ユーザーはウェーハの手動操作と手動操作の必要性を最小限に抑えることができます。モデルソフトウェアには、自動制御操作のためのオンボードレシピが含まれており、プラットフォームのパフォーマンスをさらに最適化します。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA装置は、現在市場で入手可能な最も先進的で汎用性の高い半導体処理炉の1つです。これは、複雑なウエハレベルの部品の精密な原子レベルの処理と生産のための費用対効果の高い、信頼性の高いソリューションを提供します。広い温度と圧力範囲、正確な制御、高速サイクル時間により、ハイエンド半導体製造のリーディングソリューションとなります。
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