中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #293767186 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、多くの利点を持つ汎用性と信頼性の高い半導体製造装置です。高いスループットと優れたスループットの均一性を提供します。このシステムは、プレクリーンチャンバー、エッチングチャンバー、ポストクリーンチャンバーなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。プレクリーンチャンバーは、エッチングチャンバーに入る前に破片や粒子を除去するために高純度の水リンスを実行します。また、エッチングプロセスが最適なパラメータに到達するのを助けるために、プラズマ脱着洗浄とアウトガス除去を担当しています。Etchチャンバーには、主な蒸着源、通常は高周波の誘導結合電極が含まれており、さまざまなエッチプロセスパラメータを使用できます。ポストクリーンプロセスは、エッチングプロセスから残りの副産物をきれいにするように設計されています。AMAT ENDURAリアクターは、多くの機能を備えた高性能エッチングユニットです。非常に均一で反復可能な結果のために設計されている、変数の範囲はいろいろ材料およびプロセスプロファイルを可能にします。自動化とロボット制御の統合により、機械の構成と使用がさらに容易になり、時間の経過とともに所有コストが削減されます。このツールは、お客様のニーズやプロセス要件に応じて、さまざまなアクセサリーオプションも利用できます。応用材料ENDURAオーブン、ENDURA PLC、 AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAサーマルイメージングモジュールなどがあります。これらのアクセサリはすべて主要資産とシームレスに統合され、エッチングプロセスの設定と監視が容易になります。AMAT ENDURAリアクターには、安全性を重視した様々な機能もあります。予防のオンスは、治療のポンドを節約することができ、アプライドマテリアルズENDURA原子炉は、エッチングプロセスに安全で準拠したソリューションを提供します。これには、安全と排出の保護、モーションコントロールシステム、および人員と環境を保護するための低漏れバルブが含まれます。全体として、ENDURAリアクターは、高性能で信頼性の高いエッチング性能、他の多くのモデルよりも低い所有コスト、および特定のニーズに合わせて機器をカスタマイズするためのさまざまなオプションとアクセサリを提供します。幅広いプロセスパラメータと安全機能を備え、半導体製造および産業用エッチングプロセスに最適なシステムです。