中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #293618286 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor （AMAT ENDURA）は、金属膜を基板に堆積するために特別に設計された物理蒸着（PVD）装置です。このPVDシステムは、シリコンウェーハ、ガラス、金属、ポリマーなど、さまざまな材料での使用に適しています。応用材料ENDURA原子炉は、厚さ1〜200ナノメートルの範囲のフィルムを堆積することができます。それはアルミニウム、金、モリブデン、タングステン、ニッケルおよびチタン、またさまざまな合金を含むいろいろな金属を、沈殿させるのに使用することができます。このユニットは、超高真空チャンバーを使用して、金属が昇華して基板に沈殿する、ほぼ完全に純粋な物質源を作成します。超高真空チャンバーは、5x10-7 torrの基圧に保たれます。ホットゾーンヒーターを介して通過するチャンバーにガスが導入され、ガスの分子が原子に分離されます。これらの原子はプラズマ源を用いてイオン化され、次に電磁界によって基板を横切って誘導される。イオンが基板に当たると、目的の金属膜の層を集積して表面に形成します。また、チャンバー内の高真空を維持するターボ分子ポンプを搭載し、蒸着プロセスに最適な環境を提供します。渦磁石を使用して、堆積している材料の純度と品質を損なう可能性のある粒子をフィルタリングすることができます。また、この原子炉にはレーザー干渉計とさまざまなプロセス診断システムが装備されており、堆積パラメータを正確に制御できる完全なソフトウェアも備えています。ENDURAリアクターは、高性能合金をはじめとする金属膜を幅広い基板に成膜するのに最適な強力で精密なPVDツールです。厚さと組成を正確に制御してフィルムを堆積させることができるため、マイクロエレクトロニクスや半導体から太陽電池、ディスプレイ、マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）まで、多くの業界で製造にとって貴重なツールとなります。