中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #293586745 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA
ID: 293586745
System Copper (2) Preclean (2) Orienters (2) Ta.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、半導体ウェーハ上に薄膜を堆積させるために使用されるCVD用途向けに設計された原子炉です。AMAT ENDURAプラットフォームは、前任のAPPLIED MATERIALS ENDURA PECVDと同じアーキテクチャで構築されており、バリエーションの向上と生産性の向上を実現しています。ENDURAリアクターは、シリコン、窒素および酸素ベースの誘電体、金属、酸化物およびポリシリコン薄膜の薄膜を堆積することができる汎用性の高いCVDシステムです。高出力ジェネレータとカスタム柔軟性のないグラファイトチャンバーを備えた自己完結型ユニットです。この発電機は、さまざまな温度および圧力でウエハに活性ガス分子を供給することができます。一方、耐久性に優れたグラファイトで構成され、極端な温度や圧力にも耐えられるため、AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは継続的かつ確実に動作します。AMAT ENDURAは、ウェーハを両側から同時にコーティングできる両面電極で設計されており、ウェーハを電極間に移動させる必要性を低減します。これは、薄膜層の堆積に要する時間を短縮するだけでなく、剥離やその他の欠陥の可能性を減らすために有益です。また、パージのための高度なシステムを備えており、作業の安全性と信頼性をさらに確保しています。APPLIED MATERIALS ENDURAは、直感的なタッチスクリーンインターフェイスと使いやすいソフトウェアパッケージを備えた最適なパフォーマンスと簡単なメンテナンスのために設計されています。また、カスタマイズ可能なパラメータの配列を提供しているため、さまざまなアプリケーションの要件を満たすために非常に柔軟で適応可能です。さらに、ENDURAは低汚染レベルを確保するために設計されており、製品の歩留まりを改善し、頻繁なメンテナンスと修理の必要性を低減します。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALIES ENDURAは、CVDアプリケーションに効果的で信頼性の高い原子炉です。生産性、柔軟性、精度を向上させ、幅広い半導体デバイス処理要件に対応します。
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