中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #200767 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAは、イオン注入と薄膜蒸着用に設計された半導体加工装置です。薄いゲート酸化物、ゲート電極、トランジスタに埋め込まれた再突入層などの高度な微小回路部品の加工に使用されます。AMAT ENDURAシステムは、Implantation and Deposition Cluster （IDC）とProcess Control/Monitoring （PCM） Unitの2つの主要コンポーネントで構成されています。IDC （Implantation and Deposition Cluster）は、プロセス機能の配列とタイミングの制御を担当するユニットの心臓部です。プラズマベースのプロセスを駆動するために必要なエネルギーを供給する電源と、2つの高電圧マグネトロン源が含まれています。これらの源は高温プラズマを生成し、その後、埋め込みや基板上に薄膜をスパッタするために使用できるエネルギーイオンを生成するために使用されます。また、高電圧電源により、埋め込みの深さや薄膜蒸着プロセスの制御も可能です。PCM （Process Control/Monitoring）ユニットは、機械の頭脳です。これは、起動、監視、および操作のパラメータを正確に制御することから、プロセス全体を監督するコンピュータツールです。チャンバーごとに圧力、温度、汚染レベルを監視する真空ポンプやイオンゲージなど、さまざまなセンサーからの入力を受け取ります。PCMはまた、高電圧マグネトロン源を監視し、それに応じて放出されるエネルギーと設定限界を監視することで正しい動作を保証します。アプライドマテリアルズENDURAアセットは、信頼性が高く、使いやすく、手頃な価格で設計されており、多くの半導体企業にとって魅力的な選択肢となっています。これは、特定のプロセス要件に対応するさまざまな交換可能なチャンバーを含む堅牢な設計と、柔軟性の高いソフトウェアプラットフォームを備えています。これにより、従来のシステムよりも高速で効率的な処理プロトコルが得られ、エラーが少なく信頼性の高い結果が得られます。このモデルは、小型および大型の基板の両方を処理することができ、完全なトレーサビリティとプロセス制御を提供するため、現代の加工アプリケーションにとって信頼性の高い選択肢となります。