中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #177711 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactorは、最先端の半導体デバイスを製造するために設計された高度な化学炉および質量伝達システムです。この原子炉は、さまざまな半導体デバイスの開発、製造、試験において、高い生産性、高いスループット、低コスト動作を可能にする独自の機能を備えています。AMAT ENDURAリアクターは、エンクロージャと3つの主要コンポーネントで構成されています：反応チャンバー、チャンバーエンクロージャ、および前処理チャンバー。反応チャンバーは、ダウンタイムを最小限に抑えて高速生産を可能にする化学プロセスの制御環境を提供します。制御された均一な温度と圧力を維持し、ガスと液体の流れを制御するように設計されています。エンクロージャは反応室と前処理室を収容し、設計されたプロセスに最適な環境を確保するために窒素と酸素の組み合わせで加圧されます。アプライドマテリアルズENDURAリアクターには、反応室に入る前に基板の洗浄および/または処理を可能にする前処理室もあります。部屋は水清浄および冷却のための水リングを含む一連の部屋の部品から成っています；化学洗浄のためのスクラバー。蒸気クリーニングのための蒸気箱のヒーター；熱クリーニングのための高温炉；そしてオゾン洗浄のためのオゾン発電機。さらにENDURA Reactorは、費用対効果が高く、強力で信頼性の高い自動化およびプロセス制御システムを提供するenviromaxコントローラを備えています。このマイクロプロセッサベースのコントローラは、原子炉の動作を精密に制御することができ、幅広い運用範囲、効率的な2段階プロセス操作、高スループット、迅速なレシピ開発を可能にします。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、その比類のない性能と信頼性の高い動作により、半導体業界で広く採用されています。原子炉の高度な機能は、基板の高速かつ信頼性の高い処理を提供します、一方、使いやすいオートメーションシステムは、効率的な操作と迅速なレシピ開発を保証します。さらに、原子炉は低コストの使用とメンテナンスのために設計されており、コストに敏感な市場でのアプリケーションにとって魅力的な選択肢となっています。