中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura VHP PVD #9384072 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura VHP PVDリアクターは、物理蒸着（PVD）アプリケーション向けの最先端ツールです。この原子炉は、優れたプロセス均一性と再現性を備えた基板上にフィルム層を堆積させるように設計されています。この装置は、信頼性の高いPVD成膜を提供し、幅広い成膜技術をサポートする業界をリードするプロセスツールです。AMAT Endura VHP PVDリアクターは、プロセスの柔軟性、高スループット、超低粒子性能の点で最適な設計を提供します。無線周波数（RF）および高密度直流（DC）電源を使用して、幅広い基材およびサイズにわたって優れた均一性とグリッド率のフィルム層を実現します。このシステムには、チャンバー、ソース、基板ホルダー、およびウェハステージの次世代設計が含まれており、熱および粒子性能を向上させます。さらに、原子炉には、プロセスの信頼性を向上させるための電動保護機能が装備されています。応用材料Endura VHP PVDリアクターは、基板製品ホルダーに積み込むことができ、反応チャンバーまで素早く駆動することができます。強化されたモーションコントロールと最適化されたミラー位置検出により、優れたプロセス結果が保証されます。さらに、このユニットは、商業、R&D、およびパイロットライン生産アプリケーションをサポートするように設計されています。Endura VHP PVDリアクターは、統合診断機の助けを借りて、基板全体の堆積速度、温度プロファイル、および膜厚を正確に測定する機能を備えています。このツールはまた、沈着プロセスのリアルタイムモニタリングだけでなく、時間の経過とともにその進化を支援することができる分析ツールの広い範囲をサポートしています。このアセットは非常にユーザーフレンドリーであるように設計されており、幅広いレシピとレシピのカスタマイズ機能を提供しているため、ユーザーは個々のニーズに合わせてプロセスをカスタマイズできます。さらに、原子炉は高度な故障検出と分解能を備えており、予期しない事象によるプロセスの不整合を検出し、特定された不整合がプロセスを中断することなく迅速に解決できるようにしています。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS Endura VHP PVDリアクターは、優れたプロセスの均一性と再現性、最適化されたモーションコントロールおよびミラー位置検出、および蒸着プロセスのリアルタイム監視のための統合診断モデルを提供する、信頼性が高く、効率的でカスタマイズ可能な物理蒸着工程です。