中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura TxZ #9203028 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura TxZは、大量の半導体デバイスや太陽電池製造に使用される高度なインライン、直接熱処理炉です。このツールは300mm （12インチ）ウェーハの処理が可能で、より高いスループットと生産性を実現します。AMAT Endura TxZプロセスチャンバーはいくつかのゾーンに分かれており、それぞれが異なる機能を処理するように特別に設計されています。カセットステーションは、電子ビーム蒸発源と物理蒸着（PVD）源の両方に対応できます。プロセスチャンバーには、高度な冷却および温度制御メカニズムも装備されています。さらに、アプライドマテリアルズEndura TxZは、プロセスチャンバーの急速加熱に高周波、高デューティサイクル電源を使用しています。Endura TxZは、ヒ素ガリウム、二酸化ケイ素（SiO2）、酸化インジウム（ITO）などの化合物を含む複数の種類の材料を処理することができます。また、アルミニウムやマグネシウムなどの元素材料を蒸発させることもできます。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura TxZは、反射防止および反射防止コーティング材料やその他の材料の精密蒸着に最適です。また、スパッタリング、化学蒸着（CVD）、電子ビーム蒸着、原子層蒸着（ALD）など、幅広いプロセス能力を備えています。200-1200°Cの動作温度範囲に加えて、このツールは高度な監視、診断、およびクリーニングシステムを備えています。内蔵のセンシングおよび制御装置は、正確なウェーハ位置決めを保証し、ウェーハ表面全体にわたって均一な蒸着を保証します。また、プロセスパラメータを最適に調整して結果を改善することもできます。AMAT Endura TxZには、レシピ開発と最適化のための一貫したデータを提供するリアルタイム監視および診断システムが含まれています。診断ユニットはまた、マシンの潜在的な問題を監視および報告し、エンジニアに即座にフィードバックして、問題に迅速に対応できるようにします。アプライドマテリアルズEndura TxZは、半導体製造で使用される他の高度なツールと互換性があります。ロボット、ダストフィルター、その他の後処理装置とよく統合するように設計されています。これにより、エンジニアはプロセスにオートメーションの層を追加し、納期の短縮、精度の向上、歩留まりの向上を実現できます。また、変化するプロセス要件に柔軟に対応できるため、幅広いアプリケーションに適しています。チップ製造から太陽光発電まで、Endura TxZは汎用性と信頼性の高い処理ソリューションです。